哪怕是拥有诸多支持,拥有大量的资源,研制光刻机依旧是困难重重。
他指着光学系统,说道:“DUV光刻机需要由15-20个直径200-300的透镜组成的透镜组;
EUV光刻机则需要由20多块“锅底大”的镜片串联组成的反射系统。
镜面表面起伏要求极其严苛,如30长的镜子起伏不超过0.3n!”
“这一项技术,目前在国内,还没有能实现。”
“更别说对光学元件进行原子级精度的抛光和高精度镀膜……”
郭汝京一想到这些完全没有储备的技术,就觉得头脑发热。
单一研制光刻机的国家,基本不存在。
而现在,紫晶工厂要做的,就是突破这全球的限制,完全依赖国内的厂家,或者自身研制,造出一台光刻机来!
“0.3n的起伏……这,郑稳都摸不出来吧?”蒋新松有些咋舌。
“嗯,我已经联系了国内几家光学顶尖的实验室,咨询了一番,但暂时还是没有消息。”郭汝京指着上面任务里的备注,写着正在求助,待攻克。
蒋新松理了理头绪,然后看向运动模块,问道,“工件台与掩模台的进度,怎样了?”
“精密运动与定位系统啊……”郭汝京又点开另一个模块,面露难色的说道:“情况也不太妙啊!”
他一一点开里面的详细任务,这个蒋新松倒是不需要他的解释,就完全能看懂。
制造能够在高速运动下(如扫描曝光)实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。
其定位精度需小于10n,甚至要达到3n以内的套刻精度要求。
研发应用激光干涉仪、光栅尺等超精密测量传感器,以及直线电机、压电陶瓷等驱动器,实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制 。
这些都是超精密的器件。
如果只是一般的光栅尺,或许万八千就能买到,但是要放在光刻机上,显然不够。
蒋新松看着性能的点击,才能实现运动的精度。”
“而因为灯塔国的制裁,发那科、西门子等大集团,都已经中断了咱们采购性能级以上的电机……”
他觉得十分棘手。
现在的情况,真的就是,几乎是一颗螺丝,都得自己造,人家都不肯卖给你。
而这些,在国内又没有替代品。特别是高端电机,目前初苗集团的德多电机,就已经是国产电机的领军人物了。
压根找不到第二家能直接买来使用的。
“哎,还是得等老钱发力啊!”郭汝京感慨说道。
好在这条路也不是只有他一个人,整个光科技项目,牵扯进来的团队不下百个,上万名工程师,都在研究着。
其中还有不少高校的团队,也在接到紫晶工厂的委托研究任务后,加入到研究行列中来。