箱体三:照明与对准系统 / 总重 1.9T / 防尘防潮。
箱体四:控制柜组及线缆 / 总重 2.5T。
箱体五:专用工具及备件。
红色的字体在墨绿的箱体上刺目地跳跃着,每一个字都重若千钧。
尤其是勿倒置、绝对水平、防震等字眼,像无声的警告。
开箱,是一个需要极度耐心和细心的仪式。
使用的工具是特制的,黄铜的撬棍、包着软木的锤头、非磁性的扳手……
任何可能产生火花、金属屑、磁干扰的工具都严格禁止。
长光所的王工亲自监督,每一步都按照事先演练过无数次的流程进行。
双工件台系统的固定螺栓被一个个小心翼翼拧松。
当最后一个螺栓卸下,箱盖边缘露出缝隙时,王工示意暂停。
他蹲下身,用手电筒从缝隙向里仔细照了照,检查内部的填充和固定状况,确认无误后,才示意继续。
箱盖被缓缓撬开。
一股混合着防锈油、干燥剂和特种木材的气息散发出来。
箱内,是复杂到令人眼花的金属框架结构,填充着淡黄色的、高密度的泡沫材料。
核心部件被严丝合缝地嵌在框架中央,包裹着厚厚的防静电膜,泛着神秘的微光。
一种精密、沉重、不容亵渎的工业美感扑面而来。
现场响起了一片极力压抑的、低低的抽气声。
许多年轻技术员的眼睛瞬间瞪大了,死死盯着箱内,仿佛怕一眨眼,那东西就会消失。
开箱查验依次进行。
每个箱体打开后,王工都会带领两名同样来自长光所的技术员,对照着图纸和清单,对核心模块的外观、铅封、接口进行仔细的检查,确认运输途中没有可见的损伤或移位。
这个过程同样安静,只有王工的声音。
“三号定位销,完好。”
“西侧减震垫,无异常。”
“主电源接口护套,密封正常。”
全部五个箱体查验完毕,时间又过去了半个多小时。
王工转向陈光远和宋颜,声音因长时间压低说话而有些沙哑。
“陈厂长,宋老师,光刻机GCA-201CGS所有模块,经查验,铅封完好,外观无运输损伤,文件齐全。可以接收,进行吊装入场。”
陈光远看向宋颜,宋颜深深点头。
“接收。”陈光远只说了两个字。
接下来,是更加紧张、更加缓慢的吊装和转运环节。
那辆带着起重吊臂的工程车缓缓开到位,操作手是一位老师傅,据说有二十多年精密设备吊装经验。
吊臂缓缓展开、升高,巨大的吊钩垂下。
首先被吊出来的,是复杂的固定框架和填充物。
这些包装被小心翼翼取出,整齐码放在一旁铺着洁净垫布的空地上。
然后,才轮到真正的“主角”。
“双工件台系统”模块最先被“请”出来。
当吊索缓缓收紧,那个沉重无比的铸铁平台微微离开箱体底部时,所有人的心都跟着提了起来。
吊车操作极其平稳,几乎感觉不到晃动。
模块被缓缓吊出箱体,悬在半空。
下方,十几名早已等候多时、经过最严格筛选和训练的技术工人迅速上前。
他们全部穿着崭新、洁白的连体防尘服,戴着口罩、帽子和白手套,脚上是特制的防静电鞋。
两人一组,操作着四台特制的手动液压平板搬运车,准确地将搬运车平台推到模块正下方。
吊钩极其缓慢地下降,模块底部与搬运车平台接触的瞬间,发出轻微到几乎听不见的“咯”的一声。
负责指挥的老师傅,正是之前在基础施工中坚持将水平度打磨到±0.05毫米的那位王师傅,死死盯着水平仪,同时打着手势。
“停!微调!左前角,下两丝!”
操作吊车的老师傅眼神如鹰,手指微动,庞大的吊车做出了几乎难以察觉的响应。
“好!稳住!”
“松钩,慢,慢……”
吊索的张力一点点释放,三吨多的重量,逐渐、平稳地转移到四台人力搬运车上。
搬运车的液压系统发出极其轻微的“嘶”声,承载着重压。
当吊钩完全脱离,模块完全由搬运车承载的瞬间,现场至少有四五个人同时松了一口气,尽管他们自己可能都没意识到。
但这只是第一步。
接下来,这十几名“白袍”工人,像蚂蚁搬动巨象的食物,开始以人力为主,推动搬运车。
通道地面早已铺设了临时洁净地垫。
工人们动作整齐划一,速度缓慢而恒定,沿着画好的引导线,一点点将庞大的工件台系统模块,推向灯火通明的设备入口通道。
搬运车轮子在地垫上滚动,轻微摩擦声和工人们规律的呼吸声同频合拍,充满了原始而震撼的力量感。
每一个推动的动作,都小心翼翼,仿佛在移动的不是钢铁,而是满盘的清水,稍有不慎就会倾覆。
吕辰的目光紧紧跟随着这个最笨重的模块移动,直到它完全没入厂房内部通道的灯光中。
然后,他的视线立刻转向了正在被吊出的第二个箱子,投影物镜系统。
这是整个光刻机最核心、最精密、也最“娇贵”的部分。
当包裹着银色防静电膜的圆柱形模块缓缓离开箱体时,吕辰下意识地屏住了呼吸。
这里面封装着的,是数以百计的、经过极其艰苦的研磨、镀膜、装配和校准才得到的精密光学镜片组合。
它们对温度、振动、灰尘的敏感程度,远超常人想象。
这是整个中国光学工业能拿出的、看向微观世界的最锐利的眼睛,也是整个星河计划能否成功的物理基础之一。
这个模块的转运更加谨慎。
它被安置在一个带有独立精密调平底座的专用搬运架上,搬运架本身带有减震装置。
吊装、转移、推送入场的每一个环节,时间都被拉得更长。
王工几乎贴在了搬运架旁,眼睛一眨不眨地盯着水平仪和减震指示器。
当“投影物镜系统”也安全进入通道后,剩下的“照明与对准系统”、“控制柜组”等模块的吊运,相对顺利了一些,但紧张的气氛并未有丝毫缓解。
所有人都知道,只要有一个模块在最后关头出问题,所有的前期努力都可能付诸东流。
时间已近中午。
当最后一个“专用工具及备件”箱也被安全送入厂房内部,厚重的设备入口通道大门开始缓缓合拢时,厂区外凛冽的寒风似乎都停滞了一瞬。
运输车队完成了使命,在指挥下缓缓驶离。
现场的技术人员和工人们没有立刻散去,许多人依旧站在原地,望着那已经关闭的通道大门,仿佛目光能穿透钢铁和混凝土,看到里面正在进行的、更加精密的就位和安装。
陈光远、宋颜、吕辰、梁先生、丘岩等人,互相看了一眼,谁也没有说话。
一种无形的压力,以及蓬勃的希望,在无声传递。
光刻机,这头凝聚了无数人心血、承载着一个崭新产业梦想的钢铁巨兽,终于跨越千山万水,抵达了它的战场。
它此刻正静静地躺在6305厂1号厂房那达到Css 100洁净度的核心区域,躺在特意为它打磨得光滑如镜、水平度达到±0.03毫米的混凝土基座上,被恒温恒湿的洁净空气轻柔地包围着。
而对这台机器的“真正”迎接,才刚刚开始。
拆解那层层防静电膜,将各个庞大模块精确就位、调平、连接、整合,让这头分散的“巨兽”组装成一个有机整体,并最终“唤醒”它,让它能稳定地发出那束微米级的光,在硅片上刻画出规则的图案,那将是未来数月,甚至更长时间里,一场没有硝烟、却同样艰苦卓绝的“安装调试大会战”。
真正的硬仗,现在,才正式打响。
吕辰收回望向厂房的目光,转头看向身边。
宋颜教授正低头看着自己的手,那双手有些微微的颤抖,不知是因为寒冷,还是因为激动。
陈光远正在和王工低声交谈,表情是前所未有的严肃。
梁先生已经重新打开了笔记本,用钢笔快速记录着什么。
丘岩则正在与保卫科的负责人交代后续的警戒安排。
寒风依旧刺骨,铅灰色的天空越发沉重,另一场大雪即将到来。
他轻轻呵出一口白气,白气迅速消散在寒冷的空气中。
转身,朝着临时指挥部的方向走去。