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从光刻间出来，吕辰三人来到陈光远的办公室。
陈光远给三人倒了水：“你们也看到了，有什么想法？”
诸葛彪道：“我一直听说良率上不去，今天总算是明白了，主要因素还是在对准过程上。”
吕辰和钱兰没有说话。
陈光远问道：“你们知道这GCA-201CGS怎么做出来的吗？”
端起茶杯，喝了一口，看着窗外，自顾自说了起来。
“第一次百工联席会议的时候，小吕你从那四项国家级技术中拼出了集成电路，刘星海教授提出了星河计划。”
他顿了顿：“小吕，你知道吗？那个光学微细图形曝光技术，是我研发的。”
吕辰惊讶道：“陈厂长，我从来没听说过，我只知道这个技术是长光所研发的，不知道是您。”
陈光远笑道：“为了在物镜上蚀刻光学刻度，我们研究出了这项技术。当时百工联席会议召开，长光所接到邀请，我就带着这项技术来参加了。”
陈光远顿了顿：“这是题外话，说回来。当时星河计划方项，因为这项技术的原因，刘星海教授要求长光所牵头研制光刻机，因为这项技术，我的老师让我担任了光刻组的组长。”
他回忆道：“星河计划立项之初，虽然有钱先生、夏先生、刘教授，以及我的老师等人支持，但并不顺利，当时专家组吵得不可开交，晶体管和集成电路的路线之争，电子束蚀刻和光刻和路线之争，自己造和外面买的路线之争……，头三个月里，天天都在吵……”
“刘星海教授坚持认为集成电路是未来、光刻是未来、技术要掌握在自己的手里，为此，星河计划第一笔2700万资金，你们红星所一分没拿，全部给了其他组。”
他说道：“当时我们联系了哈工大、上海机床厂、武水院、天津仪表厂……，十几家单位，在长光所研发光刻机。没有图纸，没有样机，没有技术资料可以抄。我们只知道一个原理，光通过掩模版，投影到涂了光刻胶的硅片上，就能把图案转印上去。”
“但“知道原理”和“造出机器”之间，隔着十万八千里。用什么光源？汞灯。但功率要多大？灯管怎么散热？寿命怎么保证？”
“用什么镜头？从哪弄？我们一块玻璃一块玻璃地磨，磨完了装起来测，测完了发现像差太大，拆了重磨。
工作台怎么动？用手推是最原始的方案。但推完了怎么保证位置精度？加丝杠。丝杠精度不够怎么办？加光栅尺。光栅尺做不出来？自己刻。
对准标记怎么设计？十字架。但显微镜下怎么看清楚？加照明。照明角度不对怎么办？改。
每一根螺丝，每一块玻璃，每一个旋钮，都是这么一点一点“试”出来的。”
陈光远笑道：“我们把能想到的东西，一个一个往上加。加完了发现不行，拆了重来。有时候拆着拆着，忽然想通了，哦，原来应该先做这个，再做那个。就这么摸着石头过河，硬是摸出一条路来。”
吕辰三人听得都惊呆了。
陈光远问道：“你们知道这GCA-201CGS，我们花了多少钱吗？”
“多少？”
陈光远比了一个巴掌：“500万不到，仅仅500万不到，但是我敢说，在今天1965年，全世界，美国也好，欧洲也罢，我们的GCA-201CGS都是最先进的，我是没见过德州仪器的光刻机长什么样，但我看过他们的产品，他们没有达到5微米，不要说5微米，10微米他们都没达到。”
他自信道：“的确，我们的良率上不去，一直卡在50%以下，但也是最先进的。我们500万搞出来了，他们的要多少钱，一个亿美金，还是两个亿美金？”
他摇了摇头：“但是，我们现在是先进，可是他们有全球市场在拉动技术更新，他们投再多的钱也不怕，因为本钱能拿回来，我们就不一样，我们面临着封锁，没有全球市场托底，没有钱，产业就发展不起来。”
他说道：“500万是少，但仅仅是一个光刻机，整个星河计划，那就是天文数据，启动资金2700万，第二期建设资金又是5000万，6305厂建设花了3000多万，昆仑计划又是6800万……，这一笔一笔，都是人民群众的血汗。”
“6305厂开始筹建，刘星海教授找到我老师，要求我来当这个副厂长，我老师希望我用亲自研发的光刻机，来为星河计划、为国家的集成电路趟出一条自立之路。”
“除了我，还有厂里那50多位专家，凭着一股劲，凭着对星河计划的感情，刘星海教授相召，他们就来了。”陈光远说着乐了起来，“这些人可都是老烟枪，可是6305厂是洁净区，所以都戒烟了，我也戒了。”
吕辰三人也笑了起来。
陈光远说道：“6305厂建起来了，集成电路的价值国家也看到了，优先保障国防军工，但星河计划要发展，产业要发展，所以首长批准建设第二条生产线，为国家的外贸事业添砖加瓦，在茶叶、丝绸、黑猪鬃之外，再添利器。”
他自顾自说道：“但第二条线不会是这样子，这条线良率上不去，原因今天你们也看到了。”
吕辰点点头：“那陈厂长有什么计划？”
陈光远说道：“新生产线的光刻机，要自动化。”
吕辰愣了一下：“您是说……”
陈光远拿出一个本子翻开，上面画着光刻机的结构示意图。
陈光远拿起粉笔，在“对准系统”和“工作台”两个部分画了圈。
“咱们设计GCA-201CGS时条件有限，只能做到半自动。人工对准，人工步进。”他用粉笔点着那两个圈，“用了这一年多，我发现问题在哪了。”
吕辰三人凑过去。
陈光远继续说：“核心问题有三个。第一，对准。现在是用显微镜+人眼判断，手动调节。第二，步进。现在是用手推动工作台，靠经验定位。第三，监视，当前我们是用显微镜，只能定位位置，不能看到曝光过程。”
他用笔在空白处画了一个流程图。
“一颗芯片，要对准一次。一百颗，就要对准一百次。人的注意力不可能一直保持巅峰，这就是为什么下午良率比上午低，周一良率比周五高。”
他看着吕辰：“你是系统集成专员，整个6305厂的建设你都参与了。你应该明白，咱们下一步要做的，是什么。”
吕辰点点头：“自动化，把最核心的对准和步进，变成自动的。”
“对。”陈光远说，“而且要用咱们自己的技术。”
他在本子上继续画。
“自动对准，用光电检测。在掩模版和晶圆上，做特殊的光学对准标记，比如光栅，比如十字。用光电管接收信号，当信号达到峰值的时候，就是对准了。”
他顿了顿：“这个思路，可以迁移西军电的雷达跟踪技术。他们做雷达信号处理，有现成的峰值检测算法。”
吕辰眼睛亮了：“秦世襄教授那边？”
“对。”陈光远说，“我已经和他通过信，他表示愿意合作。”
他又指向工作台部分。
“自动步进，就用你们正在设计的脉冲电机，加上长光所的光栅尺闭环控制。步进精度做到±1微米。步进的参数，比如X/Y步距、阵列行数列数，可以用二维卡存起来，读卡机自动读取。”
吕辰脑子里飞快地转着。
光电检测自动对准，脉冲电机自动步进，二维卡存储参数……
这不就是一套完整的自动化光刻系统吗？
他看着陈光远：“陈厂长，您这个方案，只改造最核心的对准和步进，不动曝光光源和掩模版架？”
“对。”陈光远说，“这样风险最小，见效最快。解决了人工对准的不一致性，良率就有希望翻倍。而且可以逐步实施，先做自动对准，再做自动步进。紧急情况，还可以切回手动模式。”
他放下笔，看着吕辰：“小吕，咱们这台光刻机，是我设计的。我知道它哪里行，哪里不行。现在你们做这个脉冲电机，正好可以把它最不行的地方，改过来。”
吕辰沉默了几秒，然后重重地点头。
“陈厂长，我明白了。您的这个改造方案，比我们单纯做脉冲电机，高了一个层次。”
陈光远笑了：“别夸我。我就是天天在车间里看，看得多了，就知道问题在哪。你们做技术的，能把电机做出来，才是真本事。”
钱兰问道：“陈厂长，那您说的监视是指？”
陈光远笑道：“这个你们最清楚，方教授研发的光阴极，小吕的方案，方教授已经告诉我了，下一代光刻机集成了那个系统，就能做到实时监控曝光情况。”
诸葛彪感叹道：“那良率怕是能做到60%以上……”
陈光远笑道：“不只是良率的事，良率60%以上只是基本的，单从技术主讲，能突破2微米工艺。”
钱兰和诸葛彪都惊呆了：“2微米工艺，能放多少晶体管。”
吕辰道：“诸葛师兄，钱师姐，技术固然重要，但最重要的是效率，机械对准的效率，比起人工对准，起码要翻几个倍，芯片的成本能极度压缩，这就是优势，能让星河计划成长起来的保障。”
陈光远笑道：“李厂长已经去请梁先生，6305厂的新产线，开春就要建设了，下一代光刻机，已经在长光所开始研发，所以你们这个高频脉冲电机，要抓紧了。”
三人感觉压力一下子大了起来。
吕辰感觉心里有一股劲：“陈厂长，我们会加快的。”
窗外，夕阳西下，余晖洒在6305的崭新厂房上。
这是中国第一座现代化的集成电路工厂。