高频脉冲电机的新版图已经重新开始流片。
吕辰三人又忙着新一轮验证机的搭建。
这天，刚刚从验证室回来，吕辰正处理一些其他单位的来信，办公室的门就被推开了。
陈光远的秘书站在门口：“吕工，陈厂长请您去一趟，真空所的电镜到了，正在安装。”
吕辰放下笔，站起来。
电镜，终于来了。
他跟着小周下楼，推着自行车出了研究所，一路来到6305厂，登记，放行。
一路上能看见穿着蓝色工装的人在厂区里穿梭，有人推着平板车，车上码着纸箱，有人手里拿着文件夹，脚步匆匆。
来到四号厂房，把车停好，进了门。
换鞋，换衣服，穿过风淋室。
走进车间的时候，里面已经站了一圈人。
陈光远站在最前面，旁边是几个穿灰色中山装的人，文昭南教授和电子管厂的李总工都在。
他们身前，是一台军绿色的机器。
一米多高，两米来长，主体是一个粗大的圆柱形镜筒，表面布满各种接口和旋钮。
镜筒的旋钮、开关、仪表，还有一台示波器。
整台机器，像一头蹲着的金属野兽。
“小吕来了。”陈光远看见他，招了招手。
吕辰走过去，站在陈光远旁边。
“文教授，李总工。”
文昭南教授冲他点点头：“小吕好。”
李总工看着那台电镜，语气里带着点自豪：“总算装起来了。在厂里调试了半个月，拉过来，又装了三天。今儿个早上才通上电。”
吕辰问：“指标多少？”
“300埃左右。”文昭南说，“看形貌够了，看细节还差点。”
吕辰大喜：“300埃，0.03微米。对于现在5微米的工艺来说，这个分辨率，够用了。”
他又问：“通电试过了？”
“试过了。”李总工说，“图像能出来，稳定。就是……”
他顿了顿，看了一眼文昭南。
文昭南接过话：“就是我们对集成电路这行不太熟。这东西看材料、看金属断口都有大用。到了6305厂这儿，能看什么，得你们说了算。”
陈光远点点头，然后看向吕辰：“吕工，叫你来，就是这个意思。咱们厂里五十多个专家教授，都是搞机械、搞化学、搞工艺、搞材料的。电镜这东西，谁都没正经用过。你给讲讲，这东西能在咱们这儿干什么。”
吕辰走到那台电镜前面，伸手摸了摸镜筒，金属的触感冰凉而坚实。
然后他转过身，看着那一圈人。
陈光远，文昭南，李总工，还有6305厂的那些专家们。
设计中心的，制造中心的，测试中心的，一张张熟悉的脸，此刻都看着他。
“文教授，”他说，“能不能先随便找个样品，把图像调出来？咱们边看边说。”
文昭南点点头，走到控制台前。
李总工也从旁边拿过一个样品托，上面粘着一个小小的铜网，铜网上挂着一些粉末。
“这是标样，先看看图像质量。”他把样品托放进样品室，关好门，开始抽真空。
嗡嗡的声音响起来，是机械泵在工作。
过了一会儿，文昭南看了看真空计，点点头：“好了。”
他打开电子枪的高压开关，调节几个旋钮，示波器上开始出现一些波纹。
然后他看向观察窗。
吕辰凑过去。
观察窗里，是一幅灰白色的图像。
放大，调焦，再放大，再调焦。
慢慢的，图像清晰起来。
那是一群不规则的颗粒，有的圆，有的尖，大大小小地堆在一起。
“这是氧化镁粉末。”李总工在旁边说，“常用的标样。”
吕辰看了一会儿，然后退开。
“陈厂长，能不能拿个芯片来？”他问。
陈光远朝旁边的人点了点头，不一会儿，有人拿过来一个陶瓷封装的芯片。
“这是HX-2的测试片，”那人说，“流片的时候有些缺陷，淘汰下来的。”
吕辰接过芯片，看了看。
黑色的陶瓷基底，两排引脚，表面印着白色的字。
他把芯片递给文教授：“教授，请您用酸煮。把封装煮开，把晶圆露出来。”
文昭南愣了一下：“现在？”
“现在。”吕辰说，“咱们今天，就给它验验尸。”
陈光远招呼一个工作人员拿来发烟硝酸。
文昭南把芯片放进烧杯里，倒上硝酸，
黄色的烟雾冒起来，刺鼻的气味弥漫开来。
十几分钟后，黑色的环氧树脂封装开始软化，脱落。
李总工用镊子把晶圆夹出来，在去离子水里洗了洗，然后放在一张滤纸上吸干。
那是一小块银灰色的东西，比指甲盖还小，边缘参差不齐。
李总工把它粘在样品托上，放进样品室。
抽真空，开机，调焦。
图像慢慢出现。
吕辰凑到观察窗前。
视野里，是密密麻麻的金属走线，横平竖直，整整齐齐。
但在左下角，有一个小小的黑点。
“放大那个地方。”他说。
文昭南调节旋钮，图像放大，再放大。
黑点变成了一小片焦黑的痕迹，中间有一个微小的熔坑，周围是一圈烧焦的痕迹，像被雷劈过的伤口。
“这是击穿点。”吕辰指着那个熔坑，“电压过来的时候，这里温度瞬间升高，把硅都烧化了。”
他顿了顿：“这种击穿，往往是栅氧化层太薄，或者有缺陷。电场强度一大，就打穿了。”
旁边有人倒吸一口气。
吕辰直起腰，看着那一圈人。
“咱们先从头讲。”他说，“电镜能在咱们这儿干什么。我一条一条说，文教授，请您配合着演示。”
他走到一个白板前面，拿起笔，写下第一行字：关键尺寸测量。
“咱们现在的设计规则是5微米。”他转过身，“但5微米到底做出来是多少？光刻机有误差，刻蚀有偏差，最后留在晶圆上的线宽，可能是5.2，也可能是4.8。”
他拿起另一块芯片，是没煮开的，指了指表面那些看不见的线条。
“如果只有4.8，再加上一点点毛刺，两条线就挨上了。挨上了，就是短路。”