未来光子学实验室。
刺耳的警报声响彻整个无尘车间,隨即又被切断。
一块显示屏上,一串鲜红的数据稳定地跳动著。
193.01n。
脉衝频率:4012hz。
“成功了!”
德米特里博士扔掉手里的记录板,一把抱住身边的中国同事,激动地大吼。
整个实验室,沸腾了。
尤里伊万诺夫摘下护目镜,脸上满是疲惫,但眼睛里却亮得嚇人。
他走到那台被魔改得面目全非的机器前,用手背轻轻碰了一下它的外壳。
滚烫。
像一颗跳动的心臟。
“老钱。”他回头,看向同样一脸激动的钱院士,“我们做到了。”
钱院士用力点头,“做到了。”
两个多月,不眠不休。
他们把这台好莱坞的“电影道具”,硬生生改造成了一头能吐出深紫外光的工业怪兽。
这道光,就是刻刀。
是用来在硅片上雕刻文明的刻刀。
孙建国站在人群外围,看著那串数据,嘴里喃喃自语。
“疯子,真是一群疯子。”
他这两个月,几乎就没离开过实验室。
亲眼见证了尤里团队,如何用匪夷所思的办法,一个个攻克了供电、冷却、材料损耗这些世界级的难题。
现在,光源有了。
稳定的频率达標的功率足够的光源。
但狂欢只持续了不到十分钟。
尤里第一个冷静下来,他拿起一块石英玻璃片,放到光路出口。
一束肉眼不可见的深紫外光,穿过玻璃。
他拿起玻璃片,对著检测仪器看了一眼,眉头皱了起来。
“光斑弥散,能量不聚焦。”
钱院士也走了过来,看了一眼数据。
“没有物镜系统,这道光,就是一根烧火棍,没法用。”
一句话,让刚刚还沸腾的实验室,温度降了下来。
光刻机,光刻机。
有“光”,只是第一步。
怎么用这束光,去“刻”,才是关键。
而负责“刻”的就是那套由十几块,甚至几十块镜片组成的比航天相机镜头还要精密的物镜系统。
“我联繫了德国蔡司。”
钱院士的声音有些乾涩。
“发了三封邮件,打了七次国际长行,对方的回覆很明確。”
“不卖。”
一个年轻的研究员忍不住问,“为什么不卖我们给钱啊。”
“因为我们是中国。”
钱院士说得很平静。
“蔡司的技术总监在电话里说,任何向中国出售高端光刻机核心部件的行为,都违反了『瓦森纳协定』。”
“那是禁运。”
实验室里,死一样的安静。
刚刚攻克光源难题的喜悦,被这个更现实,更冰冷的壁垒,撞得粉碎。
“苏联呢”孙建国问尤里,“你们在光学镜片上,没有积累”
“有。”
尤里伊万诺夫的回答很乾脆。
“军用的我们不比他们差。望远镜,侦查卫星,我们都能做。”
“但是,光刻机的物镜,是另一回事。”
他走到白板前,画了一个简单的光路图。
“它要求的不是看得远,看得清。”
“它要求的是,在指甲盖那么大的面积上,把几亿条电路,分毫不差地投射下去。”
“这个精度,叫纳米级。”
“我们的技术,在研磨和镀膜工艺上,跟蔡司比,有代差。”
尤里看著眾人,坦诚地说。
“这个,我们造不出来。”
这话,比钱院士说的“禁运”,更让人绝望。
自己造不出来,外面又买不到。