“太感谢了!“林舟激动地说,“越快越好,如果今晚能送来就更好了!“
“你小子要求还挺多。“赵部长无奈地笑了,“我儘量吧,不过你得给我个说法,这是搞什么名堂“
林舟神秘地说:“赵部长,等实验成功,您一定是第一个知道的。到时候,您就明白这批硅晶值多少钱了。“
掛断电话,林舟长舒一口气,眼中充满期待。他回到实验室,开始为即將到来的硅晶做准备工作。
“还得准备几种化学试剂...光刻胶我已经自製了一批,勉强能用...还需要腐蚀液、显影液...“
林舟在实验室忙碌著,不时看表確认时间。晚上七点,八点,九点...他开始变得焦躁。
“怎么还没送来难道出了什么问题“
就在他坐立不安之际,实验室的门被敲响。
“林工,您在吗有您的东西!“是门卫老李的声音。
林舟一个箭步衝到门口,拉开门,只见老李身后站著一个穿工作服的陌生男子,手里提著一个金属箱子。
“您好,林工程师,我是电子七厂的技术员小张,赵部长让我把这批硅晶亲自送过来。“
林舟激动地接过箱子:“太感谢了!你们辛苦了!“
小张有些好奇:“林工,赵部长特意交代,这批是我们最高纯度的硅晶,纯度达到了99.999%,按理说钢厂用不上这种材料啊...“
“这个嘛...“林舟神秘一笑,“是一个特殊项目,暂时保密。回去替我谢谢你们厂领导,以后有机会我一定登门致谢。“
送走小张,林舟迫不及待地打开金属箱,里面是几块晶莹剔透、表面经过拋光的硅晶圆片,直径约100毫米,厚度大约1毫米左右。
“太完美了!“林舟小心翼翼地取出一片,对著灯光检查,“虽然比不上现代的12英寸硅晶圆,但对现在来说,已经是极品了!“
接下来的时间,林舟完全沉浸在了实验中。他先將硅晶圆清洗乾净,然后均匀涂上一层自製的光刻胶,经过预烘烤后,小心地放入光刻机的工作檯上。
“这是歷史性的一刻...“林舟喃喃自语,手指有些颤抖,“龙国第一块自主设计、自主製造的半导体晶片即將诞生。“
他深吸一口气,启动光刻机。紫外灯亮起,通过掩模版將预先设计好的电路图案投影到涂有光刻胶的硅晶圆上。这个掩模版上是林舟设计的最简单的逻辑电路——一个基础的与门电路。
曝光完成后,林舟小心翼翼地取出硅晶圆,放入显影液中。隨后是蚀刻、去胶、清洗...每一步他都全神贯注,生怕出现哪怕一点点失误。
“扩散、氧化、金属化...“