“材料样品、镜片样品、设备样机,都准备好了。”张建国说,“还有实验数据、设计图纸、工艺文件,都整理好了。”
上午九点,专家们陆续到达。王院士最后一个到,他六十多岁,头发花白,表情严肃。
“韩总,久仰。”王院士握手很用力,“我今天是带着问题来的。你们民营企业,为什么要做EUV?能做出来吗?”
这个问题很直接,也很尖锐。
韩风没有回避:“王院士,我们做EUV,是因为没有退路。如果不做,我们就永远只能买别人的设备,看别人的脸色。至于能不能做出来,请您先看看我们的进展。”
考察开始了。李教授首先介绍了光源材料的突破,展示了实验数据和样品。王院士仔细看着光谱曲线,不时提问,问题都很专业。
“这个材料的寿命测试做了吗?能达到多少小时?”
“做了,目前能达到五百小时,离一千小时的目标还有差距,但我们有改进方案。”
“热稳定性呢?温度变化对光谱特性影响大吗?”
“影响在可控范围内。我们开发了温控系统,可以把温度波动控制在正负0.1度。”
接着是光学系统。赵工展示了新加工的镜片,平整度数据让专家们惊叹。
“0.01纳米?这个数据准确吗?”一位专家不敢相信。
“准确。”赵工打开检测报告,“我们用了三种不同的检测方法,数据一致。如果不信,可以现场检测。”
王院士亲自操作检测设备,结果确实如赵工所说。他抬起头,眼中露出赞许:“不错,这个水平已经接近国际先进了。”
最后是设备样机。虽然只是个原理验证机,但各个模块的协调运行,让专家们看到了可能性。
考察持续了三个小时。结束时,王院士握着韩风的手:“韩总,我收回之前的偏见。你们不是在空想,是在实干。有这样的团队,有这样的精神,EUV有希望。”
“谢谢王院士。”韩风真诚地说,“我们还需要继续努力。”
“需要什么支持,可以提。”王院士说,“国家支持创新,支持实干的企业。你们这样的企业,正是国家需要的。”
送走专家,韩风长舒一口气。这一关,算是过了。
但更大的挑战还在后面——评审会。
下周五,将决定“风鹏计划”的命运。
成功,将获得国家支持,走上快车道。
失败,将面临更大的资金压力,甚至可能被迫收缩。
但无论结果如何,韩风都做好了准备。
因为他知道,他们走的路是对的。
技术突破是硬道理,团队实力是硬支撑。
有这些,就有一切。
夜晚,韩风站在研究院的楼顶,看着鹏城的夜景。
这座城市以创新闻名,以速度着称。无数人在这里追逐梦想,实现价值。
而现在,他和他的团队,要在这里追逐一个更大的梦想。
一个自主可控的芯片之梦。
风很大,但韩风站得很稳。
因为他知道,他不是一个人在战斗。
有国家,有团队,有家人。
这场仗,他一定要赢。
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