第631章 盛大发布(1 / 2)

四月的鹏城,春意盎然。风华半导体研究院新建的发布大厅里,人头攒动。来自全国各地的媒体记者、行业专家、政府官员、合作伙伴,把能容纳三百人的大厅挤得水泄不通。

这是“风鹏计划”原理样机的首次公开亮相。舞台中央,被红色绸布覆盖的样机静静矗立,像一座等待揭幕的纪念碑。台下,摄像机、照相机林立,闪光灯此起彼伏。

韩风站在后台,透过幕布的缝隙看着台下黑压压的人群。他能听到自己的心跳声,快而有力。今天,他们将向全世界展示中国人自己的EUV原理样机。这是几个月来团队心血的结晶,也是对国家支持的交代。

“紧张吗?”张建国走到他身边,轻声问道。

“有点。”韩风坦诚地说,“毕竟,这是第一次公开亮相。外界会有期待,也会有质疑。”

李振华教授整理了一下领带:“技术数据我们都复核了三遍,样机也连续运行了七十二小时,稳定性没问题。今天只要正常演示,就能证明我们的实力。”

“关键是光刻演示环节。”赵工补充道,“那是EUV的核心功能。我们准备了三种不同线宽的测试图案,从28纳米到7纳米,逐级展示。”

韩风点点头。这三个线宽,代表着三个技术台阶。28纳米是当前国内最先进的水平,14纳米是国际主流,7纳米则是前沿。如果他们能在原理样机上实现7纳米的光刻,就意味着技术上已经达到了世界先进水平。

但风险也在这里。如果演示过程中出现任何问题——图形失真、线条断裂、对位不准——都会被无限放大。那些等着看笑话的人,正盯着每一个细节。

“时间到了。”工作人员提醒。

韩风深吸一口气,整理了一下西装,大步走上舞台。聚光灯打在他身上,台下瞬间安静下来。

“各位来宾,各位朋友,大家上午好。”韩风的声音通过麦克风传遍全场,“我是风华集团的韩风。今天,我很荣幸地站在这里,向大家展示一项可能改变中国半导体产业格局的技术——我们自主研发的EUV光刻原理样机。”

他顿了顿,环视全场:“在揭幕之前,我想先讲几个数字。过去六个月,我们的研发团队累计工作了十万个小时;进行了三千多次实验;攻克了十二项关键技术难题;申请了四十八项发明专利。”

台下响起掌声。这些数字背后,是无数人的汗水和付出。

“但这还不够。”韩风话锋一转,“数字只能说明过程,不能说明结果。今天,我们将用事实说话——用这台样机的实际表现,证明中国民营企业也有能力攻克世界级的技术难题。”

他走到样机旁,抓住红色绸布的一角:“现在,请允许我为大家揭晓——‘风鹏一号’EUV光刻原理样机!”

绸布滑落,样机露出真容。三米多高的设备,银灰色的外壳泛着金属光泽,各种指示灯闪烁着绿光。虽然外观还略显粗糙,但那种工业美感,让所有人为之震撼。

掌声雷动。闪光灯连成一片,整个大厅亮如白昼。

接下来是技术讲解环节。李振华教授上台,详细介绍了样机的技术参数和设计理念。他的讲解深入浅出,既有理论高度,又有实践细节,赢得了专家们的频频点头。

“我们的光源系统,采用了全新的材料配方,发光效率比传统方案提高了百分之三十。”

“光学系统使用了自主设计的五镜片结构,像差控制在理论极限内。”

“真空系统实现了10^-8帕的超高真空度,为光刻创造了理想环境。”

每一个参数,都代表着技术的突破。台下,不少业内专家开始认真做笔记,有的还拿出计算器验证数据。

然后是演示环节。这是最关键的步骤。工作人员将一片硅片送入样机,赵工在控制台上操作。大屏幕上实时显示着光刻过程——激光激发、光线传输、掩模成像、硅片曝光。

第一组图案:28纳米线条。屏幕上的图像清晰锐利,线条均匀笔直,边缘整齐。

第二组图案:14纳米线条。更细的线条出现在屏幕上,依然保持良好的一致性。

第三组图案:7纳米线条。这是真正的挑战。当那些细如发丝的线条出现在屏幕上时,台下响起了惊呼声。线条不仅清晰,而且间距均匀,没有出现断线或粘连。

演示结束,全场寂静了几秒钟,然后爆发出雷鸣般的掌声。专家们站起来鼓掌,记者们疯狂拍照,合作伙伴们面露喜色。

韩风重新走上舞台,眼眶有些湿润:“各位,这就是我们的‘风鹏一号’。它还很年轻,还有很多需要改进的地方。但它证明了一件事——在EUV这个被誉为‘半导体工业皇冠上的明珠’的领域,中国人也能做出世界级的技术。”

他看向台下的团队成员:“我要感谢我的团队。感谢张建国总工程师,您三十年的坚守,为今天奠定了基础;感谢李振华教授,您放弃国外的优厚条件,回来带领我们攻坚;感谢赵工,您精湛的技艺,让镜面达到了原子级的平整;感谢每一位技术人员,你们熬过的每一个夜,做过的每一次实验,都为今天的成功贡献了力量。”

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台下,张建国、李振华、赵工等人,都红了眼圈。这几个月,他们付出了太多,但所有的付出,在这一刻都值得了。

提问环节开始。记者们的问题像连珠炮一样抛来。

“韩总,原理样机到量产还有多远?”

“预计需要两年时间。接下来是工程样机阶段,要解决可靠性、稳定性、成本等问题。”

“技术是完全自主的吗?有没有使用国外受管制的技术?”

“完全自主。”韩风坚定地说,“所有核心技术都是我们自己研发的,拥有完全的知识产权。”

“投资这么大,商业化前景如何?”