资金到账后的第二个月,工程样机遇到了一个棘手的问题——光学系统的反射镜在长时间运行后出现了微小的形变。
问题是在一次连续运行测试中发现的。当样机运行到第五百小时时,光刻图案的边缘开始出现细微的模糊。检查发现,是反射镜的镜面发生了纳米级的形变,导致光线路径发生偏移。
“这是材料的热疲劳问题。”李教授分析道,“我们的镜片材料在常温下稳定性很好,但在长时间高温和高频振动下,会出现微小的蠕变。”
“能解决吗?”韩风问。
“能,但需要时间。”李教授说,“我们需要开发一种新的镜片材料,或者改进现有的热处理工艺。无论哪种方案,至少需要三个月。”
三个月太长了。工程样机的测试计划已经排满,每一周的延迟都会影响后续进度。而且投资人的第二期资金拨付条件是“工程样机完成所有关键测试”,如果延期,资金可能被推迟。
“有没有临时解决方案?”张建国问。
“有,但很贵。”李教授说,“国际上有一家公司生产一种特种陶瓷镜片,热稳定性极好,但价格是普通镜片的十倍。而且,对中国禁运。”
又是禁运。韩风皱起眉头。这几个月,他已经记不清遇到多少次“禁运”了。设备禁运,材料禁运,软件禁运,现在连镜片也禁运。
“特殊渠道能弄到吗?”张建国看向韩风。
韩风心中一动。他打开商城界面,搜索“光学镜片”。果然,在材料区找到了一个商品:
“EUV反射镜片(特种陶瓷),价格:1500科技点。”
他现在有1200科技点,还差300点。而且这个价格,几乎是之前购买设备的两倍,可见这东西确实珍贵。
“我问问看。”韩风对张建国说,“但别抱太大希望。这种东西,管控很严。”
回到办公室,韩风思考如何快速获得300科技点。帮助说明里提到,培养科技人才可以获得点数。最近“凤凰计划”招收了二十名优秀毕业生,由老专家们带教,这应该算人才培养。
他尝试在界面上申报。果然弹出一个窗口:
“检测到科技人才培养:20名硕士/博士毕业生,由B级以上专家带教。
培养等级:C级。
奖励:400科技点。
是否申报?”
点击“是”。账户余额从1200点变成了1600点。够了。
他立即购买镜片。1600点扣除1500点,余额100点。界面上显示:“购买成功,货物将于72小时内通过特殊渠道送达。注意:此物品敏感度极高,请做好最高级别保密工作。”
敏感度极高?韩风心中一凛。看来这次的东西,真的不一般。
三天后,他收到了一个特制的保险箱。箱子不大,但很重,需要密码和指纹才能打开。里面是五片反射镜片,包装在特殊的防震防辐射材料中。随附的文件全是德文,但他能看懂一些关键词:“特种陶瓷”“零热膨胀”“表面粗糙度0.05纳米”“适用EUV”。
这正是他们需要的镜片。
韩风把镜片送到光学实验室。赵工看到后,震惊得说不出话来。
“这......这是德国最先进的特种陶瓷镜片!”他颤抖着拿起一片,对着灯光观察,“这种材料,我研究了十几年都没突破。他们怎么做到的?”
“特殊渠道。”韩风只能这么说,“赵工,测试一下,看性能怎么样。”
测试结果让所有人震撼。新镜片在连续运行一千小时后,形变几乎为零,热稳定性是原来镜片的十倍。表面粗糙度达到0.05纳米,比原来的0.1纳米提高了一倍。
“这已经超过国际最先进水平了!”赵工激动地说,“韩总,你这次弄来的东西,简直是神器!”
“能用就好。”韩风说,“赵工,你们抓紧研究,争取破解材料配方和加工工艺。我们不能总是依赖特殊渠道。”
“我明白!”赵工眼中闪着光,“有了样品,就有了方向。这次,我们一定能突破!”
镜片更换后,光学系统的稳定性大大提高。连续运行测试顺利突破一千小时,光刻图案清晰锐利,没有出现任何模糊。
工程样机的测试进度追回来了,甚至比原计划还快了一周。
但韩风知道,这只是暂时的解决。核心问题还是技术自主。如果不能自己生产这种镜片,就永远受制于人。
他把赵工和李教授叫到一起:“两位,我们要制定一个专项攻关计划。目标是在六个月内,拿出我们自己的特种陶瓷镜片。需要什么资源,尽管提。”
李教授说:“需要高纯度的原材料,特别是氧化锆和氧化钇,纯度要达到99.999%以上。国内没有这么高的,得从日本进口。”
“还需要高温烧结设备。”赵工补充,“要能实现2000度以上的高温,还要能精确控制升温曲线。这种设备,国内也买不到。”
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又是设备问题。韩风感到一阵无力。芯片这条路,每一步都是坎。解决了镜片,又有原材料;解决了原材料,又有设备。
“我想办法。”他说,“你们先做其他准备工作。”
回到办公室,韩风打开商城界面。搜索“高温烧结炉”,果然有商品:
“高温真空烧结炉(实验级),价格:2000科技点。”
太贵了,买不起。他现在的余额只有100点。而且这种大型设备,通过“特殊渠道”运输,风险太大。
看来,还是得走正常渠道。他联系了方婷。
“高温烧结炉?”方婷在电话那头沉吟,“这种设备确实敏感。不过,我认识一家瑞士公司,他们生产实验级的高温炉,不算军用级别,也许能卖。”
“价格呢?”
“很贵。”方婷说,“一台要五百万美元,而且交货期要六个月。”