周博士,部长转过头,看向身边的周振,虽然林院士刚才给我讲了硬件上的力大砖飞,但我这心里还是不踏实。咱们用193纳米波长的光源,硬要去完成等效7纳米的性能,这真的走得通吗?
他指了指大屏幕上那张密密麻麻的芯片版图。
部长,如果是单次曝光,当然不可能。光的衍射极限就在那里,这是物理铁律。周振的声音沉稳,带着一种技术人员特有的严谨,所以,我们必须采用多重曝光技术。
他在控制台上调出一张示意图。
打个比方,如果我们手里只有一支粗画笔,却要画出比笔锋还要细的线条,怎么办?
部长微微皱眉:怎么办?
我们可以画两次,甚至四次。周振的手指在空中比划着,利用线条之间的空隙,通过多次错位叠加,把不需要的部分切掉,或者把需要的线条凑出来。我们要做的等效7纳米工艺,需要用到自对准四重图形化技术。
四次……部长喃喃自语。
是的,四次。周振深吸一口气,这就好比是在一粒米上雕刻清明上河图,还要分四次下刀,每一次下刀的位置误差不能超过0.5纳米。只要有一次歪了,整张晶圆就废了。
他转身指向身后那群正在疯狂敲击键盘的年轻工程师。
外面的那些大家伙,那座楼一样的光刻机,是我们的大炮。它口径大、射程远、底盘稳。但是,要想把炮弹精准地打进蚊子的翅膀里,光有大炮是不行的。
周振的眼中闪过一丝傲然:我们EDA团队,还有这套计算光刻算法,就是这门大炮的瞄准镜。
在ASML的路径里,他们依赖的是蔡司镜头的极致物理精度。而我们,依赖的是数学,是算法,是算力!
这时候,林星石开始进行最后的准备。
各单位报告情况。林星石的声音不大,通过麦克风清晰地传遍了每一个角落。
光源系统就绪!液冷循环温差控制在0.01度以内!
物镜系统稳定!地质微震监测数据归零!
双工件台自检完成!同步误差补偿模型已加载!
星火云算力通道全开!分配算力:800PFlops!
一连串的汇报声此起彼伏,如同战前的点名。
林星石走到指挥台正中央,目光扫过在场的每一个人,最后落在那个红色的物理启动按钮上。
这个按钮没有任何花哨的装饰,只是一个普普通通的工业开关。但所有人都知道,这一按下去,烧掉的不仅是电费,更是数以亿计的研发资金。
他没有任何犹豫,重重地按下了那个红色按钮。
启动!
没有传统机械启动时那种刺耳的轰鸣声,也没有齿轮咬合的金属撞击声。
透过监控屏幕,人们只看到那座巨大的光刻工厂微微颤动了一下。
紧接着,一阵低沉而宏大的声音从地底深处传来。
那不是机器的咆哮,而是大河的奔流。
哗——
那是数千吨超纯水在巨大的液冷管道中高速奔涌的声音。这声音经过特殊的声学设计,并不刺耳,反而带着一种令人心悸的压迫感。仿佛有一条巨龙在建筑的血管里苏醒,正在输送着磅礴的能量。
大屏幕上的画面瞬间切换到了核心曝光腔室的内部监控。
当然,这是经过光谱转换的合成画面,因为人眼无法直接看到深紫外光。
在这个微观的世界里,一场精密到极致的舞蹈正在上演。
液膜系统介入。操作员报告。
只见晶圆表面,一股清澈透明的液体瞬间铺开。那不是普通的水,而是经过十几道工序提纯、去离子、脱气的超纯水。
在林星石设计的动态液膜系统中,这层水不再是静态的介质,而是一个活的。
监控数据显示,水的流速、厚度、表面张力正在以毫秒级的频率发生变化。
这是在做什么?部长紧盯着屏幕,忍不住问道。
林星石盯着数据流,语速飞快:光线进入水中会发生折射,这相当于提高了数值孔径。但静态的水会有热效应,会导致折射率不均匀。我们让水动起来,利用流体力学模型,实时调整液膜的形状,去抵消光路上的像差。
用水做透镜……还是动态的……部长感觉自己的认知被刷新了。
曝光开始!第一重图形化!
随着指令下达,数百道肉眼不可见的深紫外激光束,如同手术刀一般,切入了晶圆表面的光刻胶。
这一刻,星火云的算力峰值瞬间飙升。
在这一秒钟内,星火数据中心,数万颗服务器芯片同时满载,疯狂地计算着每一个光子的落点。
检测到局部热膨胀,坐标X:1204, Y:3055,偏移预测0.3纳米。
EDA算法介入,光罩图形实时反向修正。
双工件台微动补偿,左移0.3纳米。
屏幕上的数据流快得连成了一道道残影。
这就是林星石所谓的暴力美学。
硬件精度不够?没关系。
机器有热胀冷缩?算出来,补回去!
镜片有微小瑕疵?算出来,避过去!
机械传动有震动?算出来,抵消掉!
用无穷无尽的算力,去填平物理制造上的鸿沟。用软件定义的精度,去挑战硬件制造的极限。