机械臂將切好的硅片一片片取出,放在铺著软垫的转运托盘上。灯光下,硅片表面反射著淡蓝色的金属光泽。
王启明戴上白手套,拿起第一片,凑近灯光仔细查看。他的眉头很快皱了起来。
“表面粗糙度不对。”他声音低沉,“有肉眼可见的纵向纹路。”
顾秋实接过硅片,用指尖轻轻摩挲边缘:“感觉有点“涩”,不像进口线切出来的那么滑。”
他快步走到旁边的光学轮廓仪旁,將硅片放上去。屏幕很快显示出三维形貌图,起伏的波纹清晰可见。
“ra值1.2微米。”读数跳出,“设计目標是0.8以下。”
第一次测试,关键指標未达標。
实验室里气氛凝重了几秒,但没有人泪丧。这在意料之中。如果一次就成功,反倒不正常。
“问题出在哪里”江浩然问,语气平静。
王启明已经走到机器旁,调出刚才的完整运行日誌。
“我怀疑是冷却液参数和走线速度的匹配问题。”他指著屏幕上的一段曲线,“看这里,切割中期冷却液温度有轻微波动,但走线速度没有相应调整。热量积累导致局部微熔,影响了表面质量。”
“那继续实验还是调整方案”江浩然看向顾秋实。
“我们预设了两套方案。”顾秋实反应很快,“一是优化冷却液的流量控制算法,增加温度反馈闭环;二是適当降低走线速度,给冷却留足余量。我建议先试第二套,改动小,见效快。”
“需要多久”江浩然问道。
“修改控制参数,重新校准,大概两小时。”顾秋实回答。
“那就开始。”江浩然看了看表,“下午三点,第二次测试。”
简单吃了午饭,团队立刻投入调整之中。
修改控制参数、重新標定传感器、更换新的金刚线、清洁硅块装夹面————所有步骤有条不紊。
下午两点五十,准备就绪。
第二次测试开始。
这次走线速度降低了百分之十五。切割周期延长到近五小时。傍晚六点,第二批硅片出炉。
王启明第一时间测量粗糙度。“ra值0.92微米,接近目標!”
但新的问题出现了。他拿起用完的金刚线残段,在显微镜下观察:“线耗比预期高了百分之二干。线体表面的金刚石颗粒脱落率偏大。”
“应该是速度降低后,单位时间內单颗颗粒承受的切割负荷增大了。”顾秋实分析道,“得在颗粒固著强度上再下功夫。”
“还有冷却液配方。”旁边一位材料工程师补充,“现在的润滑性可能不够,增加了线体磨损”
问题一个个浮现,又一个个被拆解、分析、归因。实验室的灯亮了一整夜。
接下来一周,团队进入了一种近乎疯狂的调试循环。
每天两到三次切割测试,每次测试后立刻分析数据,调整参数,有时是冷却液配比,有时是电镀工艺的微小调整,有时是走线路径的优化。失败,分析,再试。
江浩然几乎住在了实验室。
累了就在旁边的摺叠床上眯两小时,醒了继续。
他不直接参与技术討论,更多时候是听,是看,是在关键决策点上点头或摇头。
腊月二十九,距离春节还有两天。
下午四点,第十二次全流程测试完成。
当最后一片硅片被取出时,实验室里安静得能听见通风系统的低鸣。
王启明拿起硅片,没有立刻测量,而是对著光看了很久。然后他走到轮廓仪前,放入样品。