车间里机器轰鸣,火花四溅,工程师和工人们顶着压力加班加点,每一个零件的加工都精益求精。
为了确保精度达标,他们甚至临时调配了国内最先进的超精密加工设备。
反复打磨、检测,只为契合图纸上的每一个参数。
三天后,第一批定制设备顺利送达启元实验室。
巨大的设备被吊车缓缓送入指定区域,外包装拆开的瞬间,银灰色的机身泛着冷冽的金属光泽。
精密的接口、流畅的线条,无不彰显着顶尖的制造工艺。
设备厂商的项目负责人擦了擦额头的汗,对陈野说:
“陈总,所有设备都严格按照图纸要求制造,关键部件的精度误差控制在0.1微米以内,并且经过三次全负荷测试,性能完全达标!”
接下来,就是最关键的组装阶段。
陈野亲自带队,联合材料研究所的专家、设备厂商的技术人员,组成了专项组装团队。
每个人都各司其职,小心翼翼地组装着光刻机的核心部件。
光源系统、光刻物镜、工作台,被逐一吊装、定位、连接。
金属衔接时的清脆声响、仪器校准的提示音、团队成员之间的低声交流,交织成一首紧张而有序的交响曲。
苏晚晴也全程守在实验室,不仅负责协调各方的后勤保障,还时不时帮着记录数据。
她看着陈野专注的侧脸,看着团队成员们默契的配合,心中满是敬佩。
她知道,陈野所做的这一切,不仅仅是为了启元医疗,更是为了整个国家的半导体产业。
时间一分一秒地流逝,实验室里的氛围越来越紧张。
当最后一个核心部件光刻物镜被精准安装到位,当仪器发出“校准完成”的提示音时,整个实验室瞬间安静了下来。
陈野深吸一口气,缓缓直起身。
他的脸上布满了疲惫,眼底却闪烁着炽热的光芒。
随后转身看向众人,声音带着一丝不易察觉的颤抖,却无比坚定:
“启动检测程序!”
张磊立刻上前操作,手指在触控屏上轻轻一点。
“嗡——”
初代EUV光刻机缓缓启动,机身发出轻微的震动,指示灯从红色逐渐变成绿色。
屏幕上,各项性能参数不断跳动、稳定。
【光源功率达标】
【光刻精度达标】
【工作台定位精度达标】
【......】
所有关键指标,全部符合设计要求!
“成了!”
看到数据张磊脸面露出无与伦比的激动,立马放声大喊了出来。
“成功了!我们造出光刻机了!”
实验室里瞬间爆发出雷鸣般的欢呼。
有人用力拥抱在一起,有人激动地挥舞着拳头,有人红着眼眶。
李院士看着运转正常的光刻机,感慨万千地说:
“不容易啊......太不容易了!”
“我们终于有了自己的EUV光刻机,再也不用被外国人卡脖子了!”
陈野走到光刻机前,伸出手,轻轻触摸着冰冷的机身。
指尖传来细微的震动,仿佛是中国半导体产业重生的脉搏。