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正对面三米高的机体如蛰伏的银灰色精密巨兽。
机械臂悬在硕大的腔体上方,末端晶圆吸盘泛着亚光白,正以纳米级精度微调角度。
下方平台上,布满纳米级纹路的压板发出细微的“滋滋”声,有着溪水般的蓝色电弧在上面流淌。
散发的光泽将四周照亮。
悬臂落下,硅晶盘表面压下只有原子尺度的电路纹路。
王老终于看清这一套动作,失声惊呼,
“这是...光刻机!!”
“等等!”
“不对,这台机器没有将激光分解成极紫外光的结构,不是光刻机!”
“但却可以刻录硅片!”
“这...这是什么机器!!”
赵总帅和军官们也都升起了好奇心。
大家都知道,一直以来,光刻机被鹰酱控制的阿斯麦公司垄断。
形成巨大的专利护城河。
龙国前些年相当长一段时间内需要高价购买阿斯麦的光刻机。
而且,这家公司只卖给龙国中低端货,高端的10纳米,5纳米,3纳米都不卖给龙国。
后来龙国自研出10纳米光刻机,这才满足了国内使用需求。
不过想要突破到5纳米甚至3纳米,就是难如登天。
这也是刚才王老为什么会担心这款空军装备的芯片算力。
陈旭解释道,
“王老,这款装备的确不是光刻机。”
“他叫纳米压印机,和光刻机一样, 用来刻录硅片。”
“核心原理是将预先制作好的纳米结构模板与柔性衬底接触,利用压力将纳米结构转移到衬底上。基于纳米压印技术的纳米线场效应晶体管技术,具有操作简便、分辨率高、成本低等优点,可实现更高集成度的芯片制造!”
“总的来说,比光刻机方便多了!”
王老彻底惊了。
长着个大嘴,说不出话,发不出声音。
只是直勾勾的盯着陈旭。
纳米压印原理,其实早在三四年前就有人提出来了。
基本上被科研界公认为未来取代光刻机,将芯片精度提升到另外一个层次的技术。
但理论有了,从没哪个国家能将其完成。
毕竟理论和实践总是有着巨大的鸿沟。
谁曾想,突然会在这种地方见到纳米压印,太让人惊喜了。
“陈院士,不知这款机器,制作出的芯片精度,是多少?”
陈旭面色一暗,眼神中竟有一丝遗憾和不好意思。
叹息一声。
无奈道,
“说起来惭愧!”
“去年研发纳米压印设备,经历了很多难以言喻的问题。”
“虽然一个个都算是侥幸攻克了,但还是留下了些许瑕疵不足,需要不断改进。”
“就比如模板制备与寿命问题,尽管我们利用超精细电弧控制法能不断的刻录模板,可只要开始使用,就算是非接触式的压印也还是会有快速的损耗,于是我们只能把一定程度的降低芯片精度。”
“再比如大面积均匀性控制,也是个老大难,想要在大面积的硅片上均匀的保证压印统一性,具体操作起来,比想象中复杂的多!在纳米精度上,就连仪器的找平都一言难尽,想要把模具和硅片保持在同一平面,极为困难。”
“又比如材料兼容性...”
“所以,为了应对这么多问题,我们只好一点点在精度上妥协!”
“嗐!”
“最后,压印机的精度也仅仅达到了0.1纳米。”
“不过不用担心,随着咱们整体工业水平的提高,那些困扰的小问题都会被各方面人才解决,要不了多久,精度会达到理想的水准。”
王老听着七晕八绕。
脑海中不停的思考着陈旭说的那些压印技术问题。
的确,每个环节都会遇到目前科研界都解决不了的问题。
能做到这个程度,绝对算得上举国瞩目的成就。
想到这,王老伸手拍了拍一脸沮丧的陈旭。
语重心长道,
“能把压印精度控制在0.1纳米就已经可以了。”