“专线的容量要多大?”吕辰问。
“算上所有设备的峰值功率,再加30%余量,”周教授快速心算,“大概50千伏安。”
“审批流程至少半个月,”电工师傅皱眉,“时间来不及。”
“那就先建临时解决方案,”吴国华提出折中,“咱们给电子耳朵系统备用的超级电容模块,先拿几个来,做个大容量的动态电压补偿装置。今晚接线,明天就能上。先顶一阵,专线同步申请。”
电源问题刚有眉目,温湿度控制又出状况。
准洁净区要求温度23±2°C,湿度45±10%RH。
但车间没有中央空调,只有几台老旧的工业风扇。
暖通李工设计了一套简易方案,用一台二手的水冷空调机组,布置在车间外,通过保温风管向准洁净区送风。加湿器直接放在区内。
试运行第一天,问题来了。
空调机组一启动,整个地面都在微微震动。
放在光刻机平台上的水杯,水面泛起细微的涟漪。
“振动太大了!”老周摇头,“光刻机无法对准。”
“空调机组必须做减振基础,”梁先生团队的建筑师赶到现场,“在机组用软连接,加装消声器。”
“这要增加多少预算?”陈光远问。
“大概八百块钱。”
“批了,”陈光远签字,“但我要在一周内看到效果。”
“一周不够……”
“那就加班,”谢凯平静地说,“我陪你们一起。”
那一周,车间里的灯每晚都亮到深夜。
机修车间的老师傅们展现了惊人的创造力,没有标准的橡胶减振垫,就用报废卡车轮胎切割改造;没有软连接专用件,就用帆布风管中间夹钢丝圈自制;消声器买不到,就用穿孔板加玻璃棉现做。
吕辰、谢凯、吴国华等人跟着老师傅们打下手,扛材料、递工具、清理现场。
手掌磨出了水泡,工装沾满油污,但没人离开。
第七天晚上十点,减振改造完成。
空调机组再次启动。
这一次,把水杯放在光刻机平台上,水面平静如镜。
老周透过显微镜观察硅片上的对准标记,良久,抬起头,露出笑容:“成了!振动控制在允许范围内!”
车间里响起一阵疲惫但由衷的欢呼。
随着安装调试的深入,各种“跨界”冲突层出不穷。
化学安全实操区需要大量通风,但为了保持准洁净区的正压,希望尽可能减少换气次数。
“这是安全与洁净的矛盾,”化工专家在协调会上直言,“存放化学品的区域,必须保证足够的通风换气次数,否则一旦泄漏,后果不堪设想。”
“但过多的新风会影响洁净区的温湿度和颗粒物浓度。”
双方争执不下。
最终决定,把化学安全实操区移到准洁净区的下风向,并用实体墙完全隔开。
两个区域各自独立送排风,互不干扰。
化学区保持高换气次数,洁净区保持正压和低换气次数。
这个方案让风管布置的复杂度直线上升。
但再复杂也要做,在安全面前,其他都要让步。
建筑团队连夜修改图纸,增加了隔离墙和独立的风管系统。
另一个冲突发生在设备操作流程上。
老周坚持光刻操作必须严格按照“手感”来,对焦时先粗调、再微调,转动旋钮要“轻、慢、匀”;曝光时间要凭经验估算,因为这光刻机没有定时器。
但谢凯希望把一切“数据化”,对焦应该用千分表测量距离,曝光时间应该用秒表精确控制。
“你那套太死板!”老周不满,“芯片生产是手艺活!手感!感觉!这些数据教不出来!”
“但手感无法复制、无法传承!”谢凯耐心解释,“今天您手感好,对准了;明天换个人,可能就偏了。必须建立标准的操作流程和参数!”
这个问题,最终吵到现场会上。
经过半天争论,吕辰建议把操作分成三个层次。
第一层是规范动作,比如拿硅片必须用真空吸笔,不能用手直接碰;放置硅片必须先对基准边。
这些是铁律,必须严格遵守。
第二层是参数范围,比如对焦距离应该在X±0.01毫米范围内,曝光时间应该在Y±5秒范围内。
这些是科学,是可测量的。
第三层才是经验微调,在参数范围内,根据当天的温度、湿度、光刻胶批次等具体条件,做细微调整。
这需要经验,但经验是在前两层基础上积累的。
最终,宋颜教授拍板定调。
他看向双方:“周师傅,您能不能把您的手感,分解成规范动作和参数范围?比如您说的‘轻、慢、匀’,能不能量化?‘轻’是多大的扭矩?‘慢’是多长时间转一圈?”
老周缓缓点头:“我试试……把我那套手感写下来。虽然写出来可能就不对味了。”
谢凯道:“我们可以设计一套记录表,把每次微调的参数和结果都记下来。积累多了,也许能找到规律。”
一场冲突,转化成了建设性的合作。
建设进入第四周,模拟线已初具雏形。
准洁净区内,光刻机、简易涂胶台、显影槽、定影槽一字排开;扩散炉和CVD设备占据一个角落,用防火墙隔开;清洗台、蚀刻槽、干燥箱井然有序。
开放式教学区,墙上挂满了工艺流程图、缺陷图谱、安全规程;设备解剖展示台上,一台报废的真空泵被完全拆解,每个零件都贴上标签;错误案例展示区已经有了第一批“展品”。
几片碎裂的硅片、几块图形错位的光刻胶板。
化学安全实操区,通风橱嗡嗡作响,操作台上摆放着标准化的试剂瓶,每个瓶子上都有醒目的彩色标签和化学品安全数据表。
控制室里,临时拼凑的监控面板上,显示着各区域的温湿度、电压、气体压力等参数。
虽然很多传感器还是简陋的指针式仪表,但毕竟有了“集中监控”的雏形。
但这远不是终点。
随着设备逐步联通试运行,更多的问题浮出水面。
硅片的流转路径需要优化。
最初设计的单向流,在实际操作中发现,有些工序需要返工,但返工会破坏洁净度递进原则。
“那就设立‘返工隔离区’,”吕辰在图纸上画出一个区域,“需要返工的硅片,移到隔离区处理,处理完经过严格清洁后,才能重新进入主流程。隔离区相当于一个‘洁净度缓冲带’。”
设备维护和备件管理也是一片空白。
不同厂家的设备,需要的润滑油规格不同、密封件尺寸不同、电气元件型号不同。
吕辰建议:“必须建立设备档案。每台设备,都要有完整的档案,原厂信息、技术参数、维修历史、备件清单、专用工具清单。备件要分类编码,建立库存台账。”
人员培训和考核标准更是从零开始。
光刻操作员需要什么样的手稳程度?扩散炉值班员需要掌握哪些应急程序?化学试剂配制员需要经过哪些安全考核?
“编写岗位说明书和培训大纲,”谢凯领下了这个任务,“每个岗位,都要明确职责、技能要求、考核标准。培训要分理论、实操、应急演练三个部分。”
这些工作琐碎、繁重,没有惊天动地的技术突破,但却是模拟线能否真正“转起来”的关键。
吕辰等人几乎住在了车间。
他们的办公桌从一个角落搬到另一个角落,桌上永远堆满图纸、清单、会议纪要。
眼睛里布满血丝,但精神高度亢奋。
所有人都卯足了劲。
他们正在做的,不仅仅是建设一条模拟线,更是在为中国的集成电路工业,建立一套最初的工作体系、管理体系、培训体系。
每一个问题的解决,每一次标准的制定,都在填补这片空白。
窗外,秋意渐深。
车间里,灯火常明。
从破烂中建立秩序,这条路,他们才刚刚开始。