早上8点，6305厂已人声鼎沸。
薄雾在厂房之间流动，与焊接产生的青烟、混凝土搅拌扬起的粉尘混杂在一起。
裹紧工装棉袄，吕辰呵出一口白气，快步穿过综合管廊的施工现场。
管廊内部，几十名工人正在安装最后一段超纯水管道。
316L不锈钢管泛着冷冽的银光，工人们两人一组，用特制的内对口器将管道对位，然后开始焊接作业。
“滋——”
蓝色电弧在管口亮起，焊工戴着深色面罩，身体微微前倾，手腕稳定地划着小圆圈。
焊缝处，金属熔化成亮白色的小池，又迅速凝固成整齐的鱼鳞纹。
焊工身后，一名年轻技术员手持气体检测仪，眼睛紧盯着显示屏上的读数。
“氧气含量0.8%，合格。”他低声报告，在本子上记录下时间和数值。
“继续。”焊工头也不抬，只轻轻挪动位置，开始下一段焊缝。
吕辰停下脚步看了一会儿。
这套焊接工艺标准是上海机床厂的专家制定的。
管道内充氩气保护，焊接电流严格控制，焊后必须用内窥镜检查焊缝内壁，确保无氧化、无凹陷、无夹渣。
标准严苛到近乎苛刻，但所有人都知道为什么，这些管道里将来流动的，是电阻率18.2兆欧·厘米的超纯水。
任何一个焊接缺陷，都可能成为杂质析出的源头，最终污染整条产线。
“吕工！”管廊那头传来喊声。
吕辰抬头，看见动力中心的王工程师正朝他招手，手里拿着一张图纸。
“王工，怎么了？”
“你看这个。”王工程师摊开图纸，指着超纯水系统终端的一个三通接头，“原设计这里是316L，但我们昨天做腐蚀测试，发现长期在85℃、pH2的酸性清洗液环境下，316L还是有轻微点蚀风险。我和汤教授商量，建议换成哈氏合金C-276。”
吕辰接过图纸，眉头微皱。
哈氏合金，进口材料，价格是316L的二十倍不止。
而且交货周期至少六个月。
“测试数据呢？”
王工从文件夹里抽出几张照片和表格。
照片上，几块浸泡在模拟液中的金属试片，316L表面已经出现细小的麻点，而旁边的哈氏合金试片依然光洁如新。
数据表格显示，经过720小时加速腐蚀测试，316L的年腐蚀速率达到了0.02毫米。
虽然还在安全范围内，但已经接近红线。
“如果只用SC-1、SC-2这些碱性清洗液，316L没问题。”王工指着工艺流程图，“但您看，咱们未来可能要引入稀氢氟酸清洗步骤，用来去除自然氧化层。那时候pH值会降到2以下，温度也会提到80℃以上……”
王工的担忧不无道理。
芯片制造中，清洗是最基础也最关键的步骤。
硅片表面的一个原子层厚的污染，就可能导致整批芯片失效。
而清洗液的纯净度、容器的材料兼容性，是这一切的基础。
“换。”吕辰做出决定，“把所有可能接触酸性介质的管路、阀门、罐体，全部升级材料清单。我下午就去找李厂长批外汇。”
“但交货期……”
“分步实施。”吕辰思路清晰，“第一批，先把终端过滤器和喷淋头这些最关键的部位换了。其他的，在DHF工艺正式导入前完成替换。这中间有缓冲时间。”
王工点点头：“也只能这样了”。
两人又讨论了几处细节，吕辰才继续往前走。
走出管廊，冷风扑面而来。
1号厂房已经完成外部封闭。浅灰色的混凝土外墙显得厚重而沉默，那一排排高大的竖窗玻璃已经安装完毕，深灰色的窗框像巨兽的肋骨，整齐排列。
厂房门口，十几名工人正在调试特制的双层密封门。
外层钢制门板厚达十五厘米，内层是带橡胶密封条的防火门。
门框四周，已经预埋好了气密检测传感器的接口。
“压力测试做了吗？”吕辰问门口的技术员。
“昨晚做了第一次正压测试。”技术员翻看记录本，“门内加压到50帕，十分钟后压力下降不超过5帕，气密性达标。但……”
他顿了顿：“防火门的自动闭合装置有点卡滞，机械组的师傅正在调。”
两名老师傅蹲在门轴旁，手里拿着千分尺，正在测量铰链的间隙。
其中一人头发花白，是厂里从首钢请来的八级钳工，姓周。
“周师傅，什么问题？”
周师傅抬起头，眼镜滑到鼻尖：“门太重，自重一吨二。常规的闭门器力度不够，得改。”
他指着手绘的草图：“我打算在这里加一组偏心轮和拉簧，利用门体倾斜时的自重势能辅助闭合。但得算准角度，不然关门速度太快，会撞坏密封条。”
他说得很慢，但手上的动作精准而稳定。
千分尺的测量头轻轻抵在铰链销轴上，读数窗里的数字精确到微米。
“多久能改好？”
“今天下班前。”周师傅很肯定，“我让徒弟去机加工车间车偏心轮了，下午装上去调试。”
吕辰点点头，这种老师傅的承诺，比任何进度表都可靠。
他转身走向厂房侧面，那里是未来洁净车间的设备入口，一个巨大的、可以容纳卡车进出的通道。
此刻通道还敞开着，几名工人正在安装顶部的风淋室骨架。
“小吕！”又有人喊他。
这回是陈光远，他穿着和工人一样的藏蓝色工装，脸上沾着灰尘，但眼睛亮得惊人。
“您也在？”吕辰快步走过去。
“洁净区的格栅地板今天开始安装，”陈光远指向厂房内部，“我得盯着点。”
两人一起走进厂房。
内部空间依然空旷，但已经能看出未来洁净车间的雏形。
那个“玻璃鱼缸”的骨架已经全部完成。
框架顶部，数百个风机过滤单元整齐排列，像一片银灰色的方格天花板。
虽然还没通电运行，但那种精密、秩序、肃穆的氛围已经扑面而来。
地面上，工人们正在铺设格栅地板。
这是一种特制的铝合金格栅，表面经过导电阳极化处理，网格大小经过精心计算，既要保证足够的刚度支撑人员和设备，又要确保下方回风畅通。
“水平度检查了吗？”陈光远问现场负责的建筑师。
“查了，每平米误差不超过0.5毫米。”建筑师指着地上的激光水准仪，“我们铺一块，测一块，不合格当场调整。”
陈光远蹲下身，用手摸了摸格栅表面。