第414章 产线建设忙(2 / 2)

触感平滑微凉,网格边缘处理得圆润,不会有刮伤手套或产生微粒的风险。

“好。”他站起身,“记住,这里将来是Css 100环境,一粒灰尘都可能毁掉一批芯片。每一个细节,都不能将就。”

“明白!”

吕辰和陈光远继续往里走。

在洁净区的核心位置,已经浇筑好了几个特别加固的设备基座。

其中一个基座旁立着牌子,上面写着“gk -201cgs”,那是未来光刻机的位置。

基座表面打磨得光滑如镜,吕辰甚至能看见自己和陈光远的倒影。

“梁先生昨天来复测过。”陈光远说,“水平度±0.03毫米,振动等级VC-A。”

“光刻机什么时候到?”吕辰问。

“长光所那边来消息,总装已经完成,正在做最后的联调测试。”陈光远看了看手表,“如果顺利,十二月中旬可以拆解运输,年底前能运抵北京。”

“那来得及吗?”

“看安装进度。”陈光远望向四周,“洁净区必须在十二月底前完成最终封闭和验收,空调系统要联调稳定,电力、气体、纯水都要就位。然后光刻机开箱、就位、调平、对接……每一步都不能出错。”

陈光远的语气平静,但吕辰听出了其中的压力。

光刻机是整个芯片制造的核心,也是最脆弱、最精密的设备。

从长春到北京,一千多公里路程,任何颠簸、温湿度变化都可能影响精度。

开箱必须在洁净环境中进行,安装必须在恒温恒湿条件下,调平必须达到微米级……

“我们只有一次机会。”陈光远轻声说,“如果安装失败,或者精度不达标,没有备用的机器,也没有时间重来。”

6305厂的建设,就像在走钢丝。

两人沉默了一会儿,看着工人们在格栅地板上忙碌。

铝合金格栅一块块铺开,逐渐连成一片,在厂房顶灯的照射下,泛着冷冽的金属光泽。

那将是中国第一片真正意义上的芯片制造洁净区。

在那里,将诞生这个国家自主设计、自主制造的第一枚集成电路。

建设如火如荼地进行着。

一天又一天,厂房里的景象每天都在变化。

格栅地板铺设完毕,墙面和天花板开始安装彩钢板,空调管道接通,照明系统点亮……

十一月底,洁净区完成最终封闭。

那天下午,所有参与建设的工人、技术员、工程师,全都聚集在1号厂房门口。

梁先生、宋颜教授、陈光远副厂长、吕辰站在最前面,丘岩书记和李怀德厂长也从指挥部赶了过来。

“开始吧。”梁先生说。

控制室里的技术员按下按钮。

厂房内,数百个风机过滤单元同时启动。

低沉的嗡鸣声透过墙壁传来,那是高效过滤器的风机在运转,将外部空气吸入、过滤、然后像瀑布一样垂直向下吹送。

十分钟后,厂房侧门打开,两名穿着全套防尘服、戴着口罩和护目镜的检测人员走了进去。

他们手里拿着尘埃粒子计数器,开始在不同位置采样。

所有人屏住呼吸。

时间一分一秒过去,厂房里安静得能听见自己的心跳。

二十分钟后,检测人员走出来,摘下口罩,脸上带着难以置信的表情。

“梁先生……”领头的那人声音有些颤抖,“中心区域……尘埃计数……达到Css 104。”

“什么?”梁先生还没说话,宋颜教授就一把抓过检测报告。

白纸黑字,清清楚楚。

在洁净区中心位置,每立方英尺空气中,大于等于0.5微米的尘埃粒子数为104个。

Css 100的标准是100个,他们做到了Css 104。

“再测一遍!”梁先生点头道。

检测人员又测了九个点,包括角落、门口、设备基座旁等容易积尘的位置。

结果依然令人震撼:最差的点位是168个,最好的点位只有71个。

平均值:Css 96。

“成了……”不知道谁先喃喃说了一句。

然后,掌声响了起来。

开始是零星的,接着连成一片,最后变成震耳欲聋的欢呼。

工人们扔掉了安全帽,技术员们抱在一起,老师傅们抹着眼睛。

宋颜教授站在原地,手里紧紧攥着检测报告,指节发白。

他张了张嘴,想说什么,却发不出声音。

最后只是重重地、一遍又一遍地点头。

吕辰觉得眼眶发热。

他想起一年多前,在那个旧线材车间里,他们用塑料布和风扇搭建的第一个简陋洁净间。

那时候,能达到Css 就谢天谢地了。

而现在,他们建成了Css 96的超净环境。

这意味着,中国有了真正意义上能够制造集成电路的“无菌手术室”。

“同志们!”丘岩书记走到人群前,声音洪亮,“我宣布,6305厂1号厂房洁净区,正式通过验收!”

掌声再次雷动。

“但是!”丘岩话锋一转,“这只是一个开始。洁净区建成了,设备还没到位,工艺还没贯通,芯片还没造出来。我们不能松劲,不能骄傲!”

他环视全场,目光锐利:“从今天起,6305厂的建设进入最后冲刺阶段。所有设备安装、系统联调、工艺调试,必须按小时计算进度!我们要在春节前,完成所有大型设备的就位和初步调平!明年三月,必须开始工艺贯通试验!明年八月,必须拿出第一片合格的芯片!”

“有没有信心?”

“有!”山呼海啸般的回应。

“好!”丘岩大手一挥,“各就各位,继续干活!”

人群散去,重新投入工作。

但每个人的脚步都更轻快,腰杆都挺得更直。

吕辰和宋颜教授并肩站着,看着工人们忙碌的身影。

“宋老师,”吕辰轻声说,“我们真的走到这一步了。”

“是啊。”宋颜教授长舒一口气,“但最难的还在后面。设备安装、工艺调试……每一步都是鬼门关。”

“我知道。”吕辰笑了笑,“但至少,我们有了闯关的资格。”