第421章 电镜关卡(1 / 2)

1965年1月19日。

吕辰站在6305厂动力中心的楼顶,手里夹着一只大前门,望着远处1号厂房灰白色的外墙。

燕山吹来的北风,刮得人脸生疼。

他在这里站了快十分钟,烟卷在指间燃尽,烫了手指才回过神。

楼下,管廊工地的焊光还在闪烁,工人们裹着军大衣,在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。

焊接的青烟被风撕成碎片,转眼散尽。

一切都在按计划推进。

光刻机初步调平,长光所王工的团队在洁净区,像伺候瓷器一样伺候那台机器,每天进门前要过三道风淋,手套换三双。

涂胶显影机的第一组模块前天运抵,正在开箱验收。

哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁,用水平仪一点一点找基准,忙了整整两天,还没敢往基座上落。

扩散炉的炉体已经到了北京站,押运员打来电话说,铁路调度出了点问题,要晚两天才能送进厂。

动力中心的王工程师正在和运输科扯皮,声音从电话听筒里穿透出来,整个调度室都听得见。

超纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换,第一批试运行的水样送去分析,电阻率18.2,达标。

一切都在向前走。

但有一件事,静得像冻住了。

吕辰从楼顶下来,来到厂办指挥部办公室,拨通了真空所的电话。

总机转了快三分钟,才接到顾赟的分机。

“顾工,我是吕辰。”

电话那头沉默了两秒。

“吕工。”顾赟的声音很轻,像压着什么东西,“你……是为电镜的事?”

“样机怎么样了?”

又是一阵沉默。

吕辰听见电话那头有人走动,门关上的声音,然后是顾赟压低了的、几乎是从牙缝里挤出来的话:“样机做出来了。”

他顿了一下:“但是……效果差太远。”

“差多少?”

“设计指标是100埃。我们测了三轮,最好的结果是500埃。”顾赟的声音发紧,“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨天晚上吴教授在示波器前面坐着,坐了两个小时,什么都没说,后来我扶他回去休息,他血压都到一百八了。”

吕辰握电话听筒的手指节节泛白。

“我知道了。”

挂掉电话,吕辰闭上眼睛。

芯片制造,是看不见摸不着的工艺。

光刻要对准,薄膜要测厚,刻蚀要看形貌,掺杂要看深度,键合要看界面。

没有电镜,这一切全是盲人摸象。

你可以把光刻机调得再平,把超纯水的电阻率提到18.3,把洁净车间的尘埃粒子压到个位数,但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层,你就永远不知道自己做对了没有,错在哪里。

6305厂的工艺调试,需要的不是500埃。

是100埃以下。

甚至,未来的某一天,是50埃、20埃、10埃。

吕辰睁开眼睛,拨通了刘星海教授的电话。

下午三点,吕辰站在刘星海教授办公室门口,还没敲门,里面就传来声音:“进来。”

刘星海靠在椅子里,手里拿着那份1962年星河计划第三次会议纪要的复印件,翻到第三页。

那一页上,白纸黑字,写着:“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”

北京大学:电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案;

清华大学:机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试;

北京电子管厂:电子枪试制、高压电源、部分真空部件;

北京真空电子技术研究所:真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持;

长春光机所:精密光学机械加工;

红星工业研究所:控制电路、信号处理、项目协调与资源保障;

工业学院文昭南教授团队:信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”

刘星海把纪要放下,摘下老花镜,慢慢擦拭镜片。

“电镜的事,我知道了。”

他没有看吕辰,目光落在窗外灰蒙蒙的天际线上。

“你打算怎么办?”

吕辰把在真空所电话里听到的情况,一五一十说了。

工业学院的文昭南教授,北大物理系电子系吴教授,清华电子系林教授、北京电子管厂的李总工,真空所的工程师顾赟。

这些人,从1962年冬天起,就背着“电镜组”的担子。

三年了。

吕辰汇报完,办公室里安静了很久。

刘星海慢慢把老花镜戴上。

“你打算派谁去?”

“我申请组织一次专家会诊。”吕辰说,“由6305厂牵头,把参与电镜研制的所有单位、以及星河计划里相关领域的专家,全部请到真空所去。在现场看机器,听问题,分头把脉,逐条开方。”

他顿了顿:“这不是哪个环节出了孤立故障。这是整套系统走到极限之后,暴露出来的、深埋在技术体系里的结构性难题。必须多兵种联合作战。”

刘星海点了点头。

“谁带队?”

“陈光远副厂长。”

刘星海看了吕辰一眼。

“他亲自去?”

“6305厂的安装任务这么重,他走得开?”

“走不开也得走。”吕辰说,“电镜交付不了,6305厂建得再好也是瞎子。这个道理,陈厂长比谁都明白。”

刘星海沉默片刻:“告诉陈光远,这是我刘星海私人拜托他。电镜组那帮人,扛了三年了,不能再让他们孤军奋战。”

1月20日上午8点,6305厂门口,陈光远站在前面,裹紧军大衣,望着灰蒙蒙的天空。

他身后,是十六个人的会诊团队。

宋颜、谢凯、钱兰、吴国华、吕辰,这些是红星所的成员,也是星河计划指挥部办公室的成员。

还有成电郑长枫老师、西北工业大学胡文来教授、哈工大包康健教授、西军电秦世襄教授等10位来自各协作单位的教授、工程师、技术员,都是在电镜相关领域有经验的实战派。

他们的身后,从轧钢厂调来的五辆吉普车已经在等候。

这是一趟从东郊工业区斜穿老北京城,奔赴西北郊“新北京”科学城的旅程。

人到齐了,陈光远看了一眼手表。

“上车,出发!”

众人依次上车,吉普车启动,走京顺老路进城,经过机三厂时,煤焦油味着实刺鼻。

吕辰把车窗摇上,他和包康健教授、秦世襄教授坐一辆车。

“电镜的问题,我听说过一些。”包康健教授缓缓开口,“文昭南教授那边,三年了,样机是出来了,但指标一直上不去。”

他顿了顿:“说起来,这台机器,是星河计划里最难的骨头。”

秦世襄教授看着远处绵延的使馆区:“我在西军电搞雷达接收机,搞了二十一年。”

他的声音很轻,像是自言自语:“雷达要看的目标,是几十公里外的飞机;电镜要看的目标,是几埃格斯特朗的原子。雷达信号弱,我们可以加大发射功率;电镜的电子束不能大,大了样品就烧坏了。”

“所以电镜比雷达更难。不是难一倍,是难一个数量级。”

车厢里安静了下来。

车队从建国门进入了长安街,沿长安街一路往西直门方向走。

吕辰靠着车窗,闭上眼睛。

他想起昨晚,李怀德在他那份申请报告上签字时说的那句话:“电镜这仗,打的是我们这代人的脸。打赢了,后人说我们有远见;打输了,后人说我们不中用。”

李怀德签完字,放下钢笔,抬头看着他。

“所以不能输。”

车子出了西直门,到中关村后,转向北走学院路,穿过清华、北大、物理所、电子所、科仪厂。

最终停在真空所新建成不久的四层大楼前。

没有欢迎仪式。

顾赟在门口等着,穿着洗得发白的蓝色工装,棉袄领子竖起来,脸被寒风吹得通红。