有了第一个电机制造成功的经验，吕辰等人又相继制造了十三个电机。
按照GCA-201CGS光刻机的工作配置需求，工件台的X轴、Y轴，掩模台、Z轴、微动台等都可能需要。
顶着工业陶瓷和冶金材料研究中心研究员幽怨的眼神，他们掏空了所有的钐、钴样品材料。
受限于钐钴合金材料的稀少，无法大规模生产，但是他们还尽可能制造了两到三套。
钱兰整理了全套设计图纸，包括材料参数、工艺要求，特别是电机绕组的工艺和机构。
组装好的电机本体直径42、长100，看上去像一个银灰色的圆柱体，握在手里四根手指刚好能包住。
送别森格顿珠那天早上，北京站的报春花开了一枝。
吕辰递给他一个帆布包，包里装着一个电机、两条前门烟和一包点心，还有一份用牛皮纸袋封好的图纸。
“森格顿珠师傅，这是其中一个电机，还有它的全套设计图纸，复制了一份，您带着。”吕辰说，“材料参数、工艺要求、绕组方法，都写在里面了。”
森格顿珠接过纸袋，没打开，就那么攥着。
“小吕，这……”
“刘教授出差在外，不能专门感谢您，他专门交待，感谢成飞132厂和您对星河计划的支持，您老远来一趟，不能空着手回去。”吕辰笑了笑，“这技术搁我们这儿，也就是用在光刻机上。搁你们成飞，说不定能用在更重要的地方。”
吕辰又从包里拿出一个牛皮纸信封：“这是丘书记为您申请的出差补贴，不多，一点心意。”
森格顿珠默了几秒，他把信封小心地塞进帆布包最底层，然后抬起头。
“小吕，诸葛，钱姑娘。”他声音还是那么低沉，“我在北京这一个多月，学到的东西，比在厂里五年都多。”
他顿了顿：“不是技术。是你们这股劲儿。碰到难事，不躲，不绕，就硬碰硬地干。干成了，也不藏着，还想着给别人用。”
他伸出手，和吕辰握了握，又和诸葛彪、钱兰分别握了握。
“以后到成都，到我家来。我让我媳妇给你们做酥油茶，喝青稞酒。”
汽笛响了，森格顿珠双手合十：“扎西德勒!”
“扎西德勒!”
他拎起帆布包，转身走到车门口，回头看了一眼，冲他们挥了挥手。
然后消失在车厢里。
火车缓缓开动，车轮碾过铁轨，发出有节奏的轰隆声。
吕辰三个人站在月台上，看着那列绿皮火车越走越远，最后变成一个点，消失在晨雾里。
“走吧。”诸葛彪点上一根烟，“回去干活。”
第二批高频脉冲电机的芯片，是在森格顿珠走后的第四天送到的。
那天下午，柳工亲自把芯片送到验证室。
专用芯片箱子里垫着海绵，六十颗芯片整整齐齐码在凹槽里，陶瓷封装，两排引脚，在灯光下闪着金属的光泽。
“GPMC-01，第二批。”柳工把木盒往桌上一放，“60颗，你们慢慢测。”
吕辰拿起一颗，对着灯光看了看。
封装的表面是用丝网印着的字迹，白色的小字，清晰工整。
“谢了，柳工。”
柳工摆摆手，走了。
接下来三天，三个人又过上了暗无天日的日子。
测试台架重新搭起来，电源、示波器、信号源、负载板，一一接好。
第一颗芯片插上去，通电，测静态电流——正常。
输入测试向量，测功能——通过。
测速度，跑最高频率——达标。
测功耗，长时间运行——稳定。
“一颗好的。”诸葛彪在记录本上画了个勾。
第二颗，同样流程——好的。
第三颗——好的。
第四颗——好的。
测到第十颗的时候，钱兰停下笔，看着记录本上那一排勾，有点不敢相信。
“十颗了，全好？”
诸葛彪也愣了愣，把嘴里的烟拿下来，盯着测试台。
“再测。”
第十一颗——好的。
第十二颗——好的。
一直测到第十七颗，终于碰到一颗坏的。
输入短路，电流直接打到底。
“总算有坏的了。”诸葛彪松了口气，反而笑了，“不然我还以为见鬼了。”
六十颗芯片全部测完，钱兰把记录本摊在桌上，一页一页翻过去，最后在最后一页写下统计结果：
总片数：60片
功能完好：37片
局部故障：14片（多为个别引脚失效或速度略低）
完全失效：9片（短路、击穿、开路）
良率：61.7%
她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。
“37颗能用。”她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”
诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”
钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”
吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲发生器了。”
光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。
他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。
里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。
“吕工，这是你们要的光栅尺。”
吴高工介绍：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻线密度每毫米100线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”
吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头发丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。
“这怎么刻出来的？”诸葛彪眼睛都快贴上去了。
“电子束刻。”吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”
这的确值得骄傲。
吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”
吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿GCA-201CGS的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”
长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。
脉冲发生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。
是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。
打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。
板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。
“±5pp。”诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”
他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。
“西军电的人，手真稳。”
验证室被腾空了一半。
实验台靠墙摆开，从左到右依次是：脉冲发生器、示波器、GPMC-01验证板、电机驱动板、电机本体。
电机旁边架着一个简易工装，是请任长空搭建的。
一块铸铁平板，上面立着一根丝杠，丝杠上套着滑块，滑块上固定着读数头。
丝杠顶端装着一个手轮，摇动手轮，丝杠转，滑块上下移动。
光栅尺的尺身固定在工装上，读数头固定在滑块上。
滑块一动，读数头划过尺身，两路正交脉冲就出来了。
“先把手转跑通。”吕辰说。
诸葛彪坐到工装前，右手握住手轮，左手扶着滑块，像准备做什么精细手术似的。
“慢点转。”钱兰在旁边盯着示波器。
诸葛彪轻轻转动手轮，丝杠转一圈，滑块走4毫米。
读数头划过光栅尺，示波器上开始跳波形。
两路方波，一前一后，像两个错开半步的士兵。
“相位差90度。”钱兰盯着波形，“方向能判了。”
诸葛彪又反转手轮，两路波形的顺序立刻颠倒过来。
“好。”吕辰说，“尺子没问题。”
接下来是脉冲发生器。
接通电源，石英晶体开始震荡。
示波器上出现一条稳定的方波，32.768千赫，占空比50%，方方正正，边缘陡得像刀切的一样。
诸葛彪盯着那条波形，愣了几秒，然后嘟囔了一句：“西军电的东西，真稳。”
验证板是重新搭建的，GPMC-01芯片插在电路板上，周围密密麻麻焊着电阻电容、胶合逻辑，飞线整齐了许多，红的、黄的、蓝的，走得规规矩矩，该拐弯拐弯，该固定固定，贴着标签，一点都不乱。
吕辰拿起一份手写的程序清单，几十行指令，对应着芯片内部的微代码。
那是他熬了两个通宵编的，把“心跳程序”翻译成芯片能懂的0101。
他深吸一口气，蹲下去，把程序清单放在地上，然后开始拨动验证板上的开关。
一排八个开关，对应八位数据。
他看一眼清单，拨第一组：01。
按一下“写入”按钮。
再看清单，拨第二组：02。
再按“写入”。
00 01 02 03 04 05……
每拨一组，按一次写入。
四十分钟后，一百二十八条指令全部写进芯片。
吕辰站起来，腿都有点麻。
他扶着桌子，活动了一下膝盖：“通电。”
诸葛彪合上闸刀。