第471章 晚霞行千里(2 / 2)

示波器屏幕亮起来,数字表开始跳。

验证板上,几盏指示灯开始闪烁。

慢闪三次,快闪五次,然后灭掉。

过了一秒,又重复一遍。

“心跳程序跑通了。”钱兰松了口气,“芯片活着。”

吕辰点点头,这才刚刚开始:“把脉冲接进去。”

诸葛彪拿起一根信号线,一头插在脉冲发生器的输出口,一头插在验证板的一个输入引脚上。

示波器上,那条32.768千赫的方波,被芯片“看见”了。

“光栅尺。”

诸葛彪又拿起两根线,把光栅尺的两路正交信号,接到另外两个输入引脚上。

然后他坐回工装前,握住手轮。

“开环先跑一下。”

转动手轮,滑块上下滑动,读数头划过光栅尺,脉冲信号源源不断地送进芯片。

示波器上,除了时钟方波,又多出两路位置脉冲。

钱兰盯着数字表,那上面显示着芯片算出来的当前位置。

“4.237毫米……移动方向……正向……速度……”

她念着数字,声音越来越小,像怕惊扰了什么。

诸葛彪继续转手轮,滑块走到顶端,又走回来。

数字表上的数字跟着变,从大到小,从小到大,每一步都跟得上,每一步都对得上。

“芯片把位置算对了。”钱兰说。

吕辰盯着示波器看了几秒,然后说:“换闭环。”

诸葛彪拨动一个开关。

芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来,丝杠开始自动转动,滑块向上爬升。

吕辰在验证板上拨了一个数字:10.000。

那是目标位置,单位毫米。

芯片程序里预设了这个目标。

电机继续转,读数头一路跟着,脉冲信号不断反馈回芯片。

数字表上的数字一路跳。

9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……

越来越接近10.000。

最后停在9.999毫米。

误差1微米。

三个人盯着那个数字,谁都没说话。

示波器上,波形还在跳,方波整整齐齐,一列一列,像士兵的脚步。

电机嗡嗡地响着,声音低沉稳定,像一头刚刚被驯服的野兽。

诸葛彪咽了口唾沫,烟叼在嘴角,半天没点。

“再试一次。”他说,声音有点哑。

吕辰把目标改成25.000毫米。

电机又转起来,丝杠嗡嗡嗡,读数头一路向上,停在25.001毫米。

误差还是1微米。

钱兰轻轻吸了一口气:“精度够了,GCA-201CGS光刻机工作台的要求,就是正负五微米,这远远达到了要求。”

吕辰又拨了一个数字,目标0.1毫米。

电机轻轻一抖,丝杠几乎看不出动,读数头微微挪了一点点。

数字表从25.001往下跳:25.001……24.998……24.995……

最后停在25.000毫米。

移动量0.001毫米,1微米。

诸葛彪把烟叼上,没点,就那么叼着,愣愣地看着那个数字。

“成了。”他说,烟在嘴角抖了抖,“真成了。”

钱兰长长地吐了口气,肩膀塌下去,整个人像被抽走了骨头。

吕辰站着,盯着那个数字,看了很久:“再试一次。”

诸葛彪又试了一次,目标改成50毫米。

电机转,滑块走,停在——49.998毫米。

误差两微米。

“再试。”

目标0.05毫米。

电机轻轻一抖,滑块几乎看不出动,数字表慢慢跳,最后停在50.000毫米。

误差零。

三个人盯着那个数字,谁都没说话。

过了很久,诸葛彪把烟点上了。

他狠狠吸了一口,然后吐出来,烟在空气中慢慢散开。

他指了指那个还在转的电机:“森格顿珠师傅走早了,他应该亲自见证。”

钱兰笑得眼睛有点红:“我写信告诉他。”

接下来几天,他们又搭建了一个更复杂的模拟系统。

一张两尺见方的铸铁平板,上面架着X轴和Y轴两个滑台。

每个滑台都由一个电机驱动,丝杠传动,光栅尺反馈。

X轴行程200毫米,Y轴行程150毫米。

他们把长光所送来的两把光栅尺都装上了,X轴一把,Y轴一把。

重新焊出来两个驱动板,每块板子上一个GPMC-01芯片,专门控制一个轴。

控制程序写在二维卡上。

80*80的点位里,存着工件台的初始位置参数,然后是一串指令:

X轴正向,移动20毫米,停3秒。

X轴正向,再移动20毫米,停3秒。

重复7次。

然后Y轴正向,移动20毫米,停3秒。

再重复X轴的那一串,如此循环。

他把卡片塞进读卡机,读卡机的输出线接到验证板上。

吕辰合上读卡机的盖子。

“准备。”吕辰说。

诸葛彪盯着两个滑台,钱兰盯着示波器。

“通电。”

读卡机的信号灯依次闪烁,矩阵探针读入数据。

验证板上的芯片收到指令,开始计算,然后发出信号。

X轴电机动了。

滑台悄无声息开始向前移动,读数头划过光栅尺,脉冲信号源源不断返回芯片。

芯片比较目标位置和实际位置,调整输出,电机继续转。

20毫米到了,停。

三秒后,又动了。

20毫米,停。

三秒后,又动。

X轴滑台一步一步往前走,每一步20毫米,每一步停三秒,每一步都走得稳稳当当,误差不超过2微米。

走完七步,X轴滑台停在140毫米的位置。

然后Y轴动了。

同样20毫米一步,同样停三秒,同样稳。

Y轴走完七步,X轴又开始往回走。

一步一步,一格一格,像士兵走正步,像钟表走秒,像某种精密到极点的舞蹈。

“成了。”诸葛彪又点上一根烟,靠在椅子上,看着那两个还在动的滑台,“这回是真成了。”

钱兰拿起一块报废的GPMC-01芯片,对着灯光看了很久。

“咱们为GCA-201CGS,造出了半自动的工件台。”

那天下午,三个人坐在验证室里,看着那两个滑台一遍一遍地走。

走完一遍程序,重新塞一次卡片,再走一遍。

走了一百遍,误差始终没超过2微米。

吕辰出去了一趟,回来的时候拎着一瓶酒,三个搪瓷缸子。

他把酒倒上,三个缸子碰在一起,发出清脆的响声。

“敬森格顿珠师傅。”

“敬长光所。”

“敬西军电。”

“敬咱们自己。”

酒喝完的时候,窗外已经是红霞漫天。

诸葛彪把烟掐灭,站起来,走到窗前,推开窗户。

冷风灌进来,人间四月天,带着泥土和青草的芬芳。

吕辰和钱兰走过来,三人站在窗前,看着天边绚烂的晚霞。

身后,那个滑台还在走。

X轴,20毫米,停三秒。

Y轴,20毫米,停三秒。

一步一步,一格一格。

像某个巨大机器的脉搏,沉稳,精确,永不停歇。

早霞不出门,晚霞行千里。