工艺开发迅速展开。材料组研究光刻胶的特性，设备组优化工艺参数，环境组控制洁净度，整合组协调各环节。大家分工合作，效率很高。
一个月后，工艺团队拿出了第一版工艺方案。在样机上进行了首次工艺验证，结果令人振奋——28纳米线条的光刻成功率达到了百分之九十，14纳米达到了百分之八十五，7纳米达到了百分之八十。
虽然还有提升空间，但已经证明了工艺的可行性。
“很好！”韩风在工艺评审会上说，“这个起点很高。接下来，我们要优化，要稳定，要可重复。”
“我们已经在做。”陈雪茹汇报，“第二版工艺方案重点解决稳定性问题。我们引入了统计过程控制（SPC），实时监控关键参数，及时发现和纠正偏差。目标是将波动控制在正负百分之五以内。”
“需要什么支持？”
“更多的测试机会。”陈雪茹说，“工艺开发需要大量的实验数据。我们请求增加样机的工艺测试时间，从现在的每天八小时增加到每天十六小时。”
“可以。”韩风拍板，“工程样机的测试已经基本完成，可以转入工艺开发阶段。从明天起，样机白天做工艺测试，晚上做设备维护。我们要抢时间。”
有了韩风的支持，工艺开发加速推进。陈雪茹和团队吃住在研究院，每天工作十四五个小时。她的专业和敬业，很快赢得了团队的尊重。
但也不是一帆风顺。一次工艺实验中，由于操作失误，导致一批珍贵的测试硅片报废，损失几十万元。负责的年轻工程师很自责，提出了辞职。
“失误是难免的。”陈雪茹在团队会议上说，“我在英特尔时，也犯过更严重的错误。关键不是不犯错，而是从错误中学习。这批硅片报废了，但我们知道了那个操作不能那么做。这个经验，值几十万。”
喜欢穿越60年代，我靠捡漏成了首富请大家收藏：穿越60年代，我靠捡漏成了首富更新速度全网最快。
她的话让团队释然。年轻人收回了辞职信，表示会更加小心。
这件事让韩风看到了陈雪茹的领导能力。她不仅有技术，还有管理智慧，懂得如何带团队，如何营造氛围。
随着工艺开发的深入，陈雪茹和团队的贡献越来越大。他们不仅解决了具体的工艺问题，还建立了一套完整的工艺开发体系，包括文档管理、数据采集、分析流程、知识积累。这套体系，对未来的量产至关重要。
第二次中期评估前夕，工艺团队完成了第三版工艺方案。在样机上进行了连续一百次的工艺验证，成功率稳定在百分之九十五以上，波动控制在正负百分之三以内。
“这个数据，已经达到了量产要求。”陈雪茹在汇报时说，“当然，这只是在样机上的小批量验证。真正的大规模量产，还需要更多的优化。但至少证明，我们的设备是能用的，我们的工艺是可行的。”
韩风很满意。有了工艺数据，中期评估就更有底气了。他们不仅可以展示设备性能，还可以展示工艺能力，展示从设备到工艺的完整解决方案。
评估前一天晚上，陈雪茹找到韩风。
“韩风，有件事我要告诉你。”她的表情有些严肃，“我收到一封邮件，是英特尔的前同事发来的。他说，公司正在调查我的离职，怀疑我带了技术回国。可能要对我提起诉讼。”
韩风心中一紧：“严重吗？”
“目前还不清楚。”陈雪茹说，“但我没有带走任何技术资料，所有的工艺方案都是我们自己开发的。他们告不赢，但可能会制造麻烦。”
“你需要什么帮助？”
“我需要一个律师，熟悉国际知识产权法律的。”陈雪茹说，“另外，我们的工艺开发要做好记录，证明所有的成果都是我们自己研发的，没有使用英特尔的专有技术。”
“我马上安排。”韩风说，“雪茹，谢谢你。为了回来，你承担了风险。”
“值得。”陈雪茹微笑，“韩风，你知道吗？这几个月，是我职业生涯中最累但也最有成就感的几个月。看着一个个工艺难题被攻克，看着数据一点点变好，那种成就感，是在英特尔十年都没有过的。”
“这就是自主创新的魅力。”韩风说，“虽然难，虽然苦，但每一步都是自己的，每一份成就都是实实在在的。”
“是的。”陈雪茹点头，“所以我不后悔。就算他们起诉，我也不怕。我没有做错任何事，我只是回到了自己的国家，为自己的产业做贡献。”
看着陈雪茹坚定的眼神，韩风心中充满敬意。这就是中国的科技人——有情怀，有担当，有勇气。
第二天，中期评估如期举行。韩风带着团队，展示了设备性能数据和工艺验证结果。当屏幕上出现“工艺成功率95%，波动±3%”的数据时，评审专家们都露出了赞许的表情。
“从设备到工艺，你们形成了完整的解决方案。”王院士总结时说，“这很不容易。很多企业能做设备，但做不好工艺；能做工艺，但做不好设备。你们两者都做到了，而且做得很好。”
“这都是团队的功劳。”韩风说，“我们有最好的设备工程师，最好的工艺工程师，最好的材料科学家。大家同心协力，才有了今天的成果。”
“后续有什么计划？”
“接下来是工程样机的优化和量产机型的开发。”韩风汇报，“我们计划用一年时间，完成工程样机的所有验证；再用两年时间，推出第一代量产机型。目标是在三年内，实现EUV的国产化替代。”
“有信心吗？”
“有！”韩风坚定地说，“因为我们的团队，我们的精神，我们的决心。”
评估顺利通过。评审组决定，拨付剩余的五亿资金，支持后续开发。同时，将“风鹏计划”升级为国家重点专项，给予更多的政策支持。
消息传来，团队欢欣鼓舞。这是对他们工作的肯定，也是对未来道路的认可。
深夜，韩风站在研究院的楼顶，看着满天的繁星。陈雪茹走到他身边。
“想什么呢？”她问。
“想这一路走来的不易。”韩风说，“从一无所有，到原理样机，到工程样机，到工艺验证。每一步都很难，但每一步都走过来了。”
“因为有你在前面领着。”陈雪茹说，“韩风，你有一种特殊的魅力，能让所有人相信，跟着你走，就能走到想去的地方。”
“不是我一个人的功劳。”韩风说，“是大家的努力，是国家的支持，是时代的机遇。”
“但你抓住了机遇。”陈雪茹看着他的侧脸，“韩风，我有时在想，如果当年我没有出国，我们会怎样？”
韩风愣了一下，随即笑了：“过去的事，就让它过去吧。重要的是现在，是未来。我们现在是战友，在为同一个目标奋斗。这种关系，比什么都珍贵。”
“你说得对。”陈雪茹也笑了，“战友，这个词好。那韩总，接下来有什么指示？”
“继续攻关。”韩风望向远方，“我们要做出真正的EUV，不比任何人差的EUV。为了这个目标，我们要继续努力。”
“是，韩总！”
两人相视而笑。星光下，两个曾经的少年，如今的中坚，为了一个共同的梦想，并肩而立。
芯片之路，虽然漫长，但他们已经有了清晰的路径，有了强大的团队，有了国家的支持。
接下来的路，会更容易吗？不会。
但他们会走得更坚定，更从容。
因为希望在前，光明在前。
喜欢穿越60年代，我靠捡漏成了首富请大家收藏：穿越60年代，我靠捡漏成了首富更新速度全网最快。