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康德对早期形而上学的批判和发展：康德表示，我们很容易将自己的主观构想不自觉地当成绝对的客观原理来认识的自然倾向与禀赋。这是人所不可克服的自然冲动，它促使我们总是将我们自身受到局限的经验作为完善的东西、也就是物自身的表象来加以表述。所以，作为非理性的形而上学就在我们普通人的日常思维中。
对“形而上学”批判的前提就是对‘知识’的反思”，或者说对知识产生前提的批判。形而上学认为知识来源于先验而不是经验，完全是主观思维的产物。
他不只是上面谈到的对形而上学的批判，他更是发展了形而上学 ，把其扩展到包括认识论。
黑格尔对形而上学的批判和发展：在经过柏拉图到康德的漫长的哲学思考之后，黑格尔把形式的自在性和自为性用辩证法进行了统一，开展了对当时旧形而上学的批判。
黑格尔在康德对知性批判的基础上，认为知性的形而上学的抽象性方法使之知性成为孤立的、静止的，因此这是有限的方法。常被引申为形而上学是“孤立、静止、片面的观点观察事物的思维方式”这种说法。与康德把知性的有限性归结于主观思维之必然不同，黑格尔认为其有限性是知性本身的性质所具有的抽象的同一性所形成，黑格尔企图用绝对理念（绝对精神）内化的具体同一性的辩证发展关系达到本体，在克服西方哲学的存在形式化上有所突破。
根据文献形而上学条目提到，黑格尔试图建立一个新的形而上学体系。黑格尔把形而上学看成一套体现实在的理性推演体系，是由正题、反题、合题反复组成的辩证系统，包含逻辑学、自然哲学、精神哲学三大部分。其体系把形而上学看成对超经验对象的研究。黑格尔的辩证法，实际是在批判旧形而上学基础上提出的，其本身也是无法用经验证据来验证的，也是属于形而上学的；比如，吉林大学哲学教授孙正聿在他的文章（“辩证法：黑格尔与后形而上学”）中将辩证法称为“后形而上学“，并且解释为黑格尔以辩证法改造形而上学、实现了辩证法与形而上学的“合流”。
海德格尔对形而上学的批判和发展：海德格尔认为，形而上学的问题就在于把动态的存在弄成了静态的存在者。为了寻找各种存在者的最终根据和原因，形而上学追溯到了存在，但没有把存在理解为动态的缘起发生过程，而是理解为永恒不变的现成本质。它因此就不但没有展示存在，反而遮蔽了存在。
海德格尔“清楚地知道，形而上学以及在其基础之上发展出来的近现代科学都是命运性的东西，都是人类所不能拒斥的。我们可以反思形而上学和科学的弊端，但无法拒斥形而上学和科学”。
虽然海氏在《什么是形而上学？》中不言而喻地把自己的东西看作“形而上学”，但这种“形而上学”与传统形而上学是有着本质区别的（《什么是形而上学》第二节 ）。在早期弗莱堡时期，海氏就已经通过“形式指引”方法而清楚地把自己与传统形而上学区别开来。海德格尔的新形而上学总结在其着作《形而上学导论》中。海德格尔批判了传统的本体论为主的形而上学，并用其理论发展了形而上学。
分析哲学对形而上学的批判和反思：二十世纪的逻辑实证论者们反对某些形而上学议题。他们认为绝大多数的形而上学问题本身是没有意义的， 见维特根斯坦前期在其《逻辑哲学论》的观点。
维特根斯坦是现代分析哲学最重要的创始人之一，也是分析主义反形而上学传统的肇始者。其前期的哲学代表作《逻辑哲学论》对作为逻辑实证主义中坚力量的维也纳学派曾产生过巨大的影响。在这部着作中，维特根斯坦首次表达了他的反形而上学思想，认为形而上学的根本错误在于企图“说不可说的东西”，其结果却是提出了一些“毫无意义的问题和命题”。维特根斯坦对传统形而上学的这一批判，建立在他的语言图像理论的基础上的，在这个理论中，他首次提出了语言的界限问题并由此而表明传统哲学的错误之所在。
学术界认为，对于无意义的哲学命题，就必须把它们从我们的语言系统中清除出去，而这首先是要为语言划定一个界限。当把哲学命题从语言中清除出去之后，剩下的就只是自然科学的命题了。维特根斯坦说，除了自然科学的命题之外，我们不要说任何其它的事情，因为“一切真命题的总和就是整个自然科学”。
以上对维特根斯坦批判的介绍，只是他前期在其《逻辑哲学论》的观点。但他后期的思维从其早期哲学的纯粹、朴素的逻辑中，回到了现实生活的模糊性，不再持有上述观点。维特根斯坦后期在其《哲学研究》序言中说明，在弗兰克·拉姆齐的帮助下，认识到自己前期着作《逻辑哲学论》犯了严重的错误。然而，他也说过要把前后期着作对比，以前期着作作为背景来理解后期哲学。
以维也纳学派为代表的逻辑实证主义，它是分析主义思潮中反对形而上学态度最坚决、言辞也最激烈的一个流派，代表人物卡尔纳普断然地提出了“拒斥形而上学”的口号。维也纳学派受维特根斯坦《逻辑哲学论》中的经验主义、逻辑主义的影响很大，并直接继承了他的“形而上学是无意义的陈述”这一反形而上学的基本观点。但在具体论证这个观点时，他们的理论依据又有所不同。《逻辑哲学论》是从语言图像理论出发来说明形而上学命题的无意义性的，而维也纳学派主要根据可证实性原则提出了他们的“拒斥形而上学”的口号。